恭喜旭化成株式会社小坂隼也获国家专利权
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龙图腾网恭喜旭化成株式会社申请的专利感光性树脂组合物及抗蚀图案的形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112534351B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980051908.6,技术领域涉及:G03F7/031;该发明授权感光性树脂组合物及抗蚀图案的形成方法是由小坂隼也设计研发完成,并于2019-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光性树脂组合物及抗蚀图案的形成方法在说明书摘要公布了:提供曝光后进行加热再进行显影时的灵敏度、密合性、线宽再现性和分辨力良好,特别是即使从曝光直至显影为止的时间长的情况下也实现良好的密合性的感光性树脂组合物。本发明的一方式提供一种感光性树脂组合物,其含有:A碱溶性高分子:10质量%~90质量%;B具有烯属不饱和双键的化合物:5质量%~70质量%;C光聚合引发剂:0.01质量%~20质量%;和D酚系阻聚剂:1ppm~300ppm,所述感光性树脂组合物在375nm和405nm中的至少一者下的透光率为58%~95%。
本发明授权感光性树脂组合物及抗蚀图案的形成方法在权利要求书中公布了:1.一种感光性树脂组合物,其含有:A碱溶性高分子:10质量%~90质量%;B具有烯属不饱和双键的化合物:5质量%~70质量%;C光聚合引发剂:0.01质量%~20质量%;和D酚系阻聚剂:1ppm~300ppm,所述C光聚合引发剂含有蒽和或蒽衍生物,并且所述D酚系阻聚剂含有对羟基苯甲醚和或二丁基羟基甲苯,所述感光性树脂组合物在375nm和405nm中的至少一者下的透光率为58%~95%。
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