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龙图腾网获悉鸿舸半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种应用于半导体制造中的气体检测方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119310014B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411875930.1，技术领域涉及：G01N21/17；该发明授权一种应用于半导体制造中的气体检测方法和装置是由祝文静设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种应用于半导体制造中的气体检测方法和装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种应用于半导体制造中的气体检测方法和装置，在本申请中，设计了一种气体混合系统，通过气体混合系统可以对多种气体进行混合，由于不同气体在受到对应频率的红外光线照射后，可以对对应的气体产生热效应，使得该气体分子温度产生变化，通过这一原理，先对未使用红外光线照射之前的混合气体进行拍摄，然后在使用不同频率的红外光线先后对混合气体进行照射，这样可以分别得到磷烷气体照射前后的对比图像，以及氢气照射前后的对比图像，通过对比可以区分出混合气体中磷烷和氢气在图像中的位置，进而可以确定混合气体的混合比例，通过上述方式可以实时检测混合气体的混合比例，以便为后续控制提供支持，从而有利于提高成品率。

本发明授权一种应用于半导体制造中的气体检测方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种应用于半导体制造中的气体检测方法，其特征在于，所述气体检测方法用于检测为化学气相沉积设备提供混合气体的气体混合罐中的磷烷气体和氢气气体的比例是否满足要求，所述气体混合罐内设置有允许距离磷烷气体对红外光的吸收峰在预设范围内的红外波长通过的第一滤光片、允许距离氢气气体对红外光的吸收峰在预设范围内的红外波长通过的第二滤光片、被所述第一滤光片遮挡的第一红外光源、被所述第二滤光片遮挡的第二红外光源和温度传感器，所述气体混合罐外设置有两台红外摄像机，两台所述红外摄像机设置在所述气体混合罐的同侧，且水平相邻设置，所述气体混合罐上设置有定位物，所述气体检测方法包括：按照预设周期控制两台所述红外摄像机同时对所述气体混合罐进行拍摄，得到第一红外摄像机拍摄的第一红外图像和第二红外摄像机拍摄的第二红外图像，并控制所述温度传感器采集所述气体混合罐内当前的温度；控制所述第一红外光源射出红外光线，得到所述第一红外摄像机拍摄的第三红外图像，以及按照预设时间间隔，控制所述第二红外光源射出红外光线，得到所述第二红外摄像机拍摄的第四红外图像；以所述温度对应的灰度值为阈值，分别对所述第一红外图像至所述第四红外图像进行二值化处理，得到所述第一红外图像对应的第一二值图像，所述第二红外图像对应的第二二值图像，所述第三红外图像对应的第三二值图像和所述第四红外图像对应的第四二值图像；分别对所述第一二值图像和所述第三二值图像进行比较，以及对所述第二二值图像和所述第四二值图像，对所述第三二值图像中相对于所述第一二值图像的像素值不同的第一区域进行第一标记，得到第一标记图像，以及对所述第四二值图像中相对于所述第二二值图像的像素值不同的第二区域进行第二标记，得到第二标记图像；以所述定位物在标记图像中的位置为切割基准，分别对所述第一标记图像和所述第二标记图像进行切割，得到距离所述定位物相同长度，且尺寸相同的第三标记图像和第四标记图像；根据所述第三标记图像中的第一标记的数量和所述第四标记图像中第二标记的数量，确定所述气体混合罐内的气体混合比例是否满足要求。

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