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龙图腾网恭喜旭化成株式会社申请的专利感光性树脂组合物和抗蚀图案的形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112368642B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980041666.2，技术领域涉及：G03F7/031；该发明授权感光性树脂组合物和抗蚀图案的形成方法是由松田隆之;国松真一设计研发完成，并于2019-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本感光性树脂组合物和抗蚀图案的形成方法在说明书摘要公布了：提供一种适合于在曝光后进行加热，实现更高分辨率的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物，其是用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，以感光性树脂组合物的总固体成分质量基准计，包含以下的成分：A碱溶性高分子：10质量％～90质量％；B具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；以及C光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％，A碱溶性高分子整体中的苯乙烯和或苯乙烯衍生物的结构单元为15质量％以上。

本发明授权感光性树脂组合物和抗蚀图案的形成方法在权利要求书中公布了：1.一种感光性树脂组合物，其是用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，其特征在于，所述感光性树脂组合物以该感光性树脂组合物的总固体成分质量基准计，包含以下的成分：A碱溶性高分子：10质量％～90质量％；B具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；以及C光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％，所述A碱溶性高分子整体中的苯乙烯和或苯乙烯衍生物的结构单元为15质量％以上，并且，具有芳香族烃基的单体成分的含有比例为50质量％以上，作为所述B具有烯属不饱和双键的化合物，双酚A骨架的浓度为0.18mol100g以上的化合物B-1的含量相对于所述感光性树脂组合物的固体成分为0以上且18质量％以下，并且，包含相对于感光性树脂组合物的固体成分总量为4质量％以上且40质量％以下的b1具有3个以上烯属不饱和键的甲基丙烯酸酯化合物，[A碱溶性高分子的含量][B具有烯属不饱和双键的化合物的含量]的值为1.04以上，所述C光聚合引发剂包含蒽和或蒽衍生物。

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