买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法以及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111326456B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911292029.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理方法以及基板处理装置是由吉田幸史;上田大设计研发完成，并于2019-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理方法以及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理方法及装置，该基板处理方法包括：处理液供给工序，将具有溶质以及溶剂的处理液朝向基板的表面供给，处理膜形成工序，使供给至所述基板的表面的所述处理液固化或硬化，在所述基板的表面形成保持存在于所述基板的表面的去除对象物的处理膜，剥离工序，通过向所述基板的表面供给剥离液形成液，使所述剥离液形成液与所述处理膜接触而形成剥离液，通过所述剥离液将保持所述去除对象物的状态的所述处理膜从所述基板的表面剥离，去除工序，通过在剥离所述处理膜后继续供给所述剥离液形成液，在所述处理膜保持所述去除对象物的状态下，对所述处理膜进行冲洗而将所述处理膜从所述基板的表面去除。

本发明授权基板处理方法以及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，包括：处理液供给工序，将具有溶质以及溶剂的处理液朝向基板的表面供给，处理膜形成工序，使供给至所述基板的表面的所述处理液固化或硬化，在所述基板的表面形成保持存在于所述基板的表面的去除对象物的处理膜，剥离工序，通过向所述基板的表面供给剥离液形成液，使所述剥离液形成液与所述处理膜接触而形成剥离液，通过所述剥离液将保持所述去除对象物的状态的所述处理膜从所述基板的表面剥离，去除工序，通过在剥离所述处理膜后继续供给所述剥离液形成液，在使所述处理膜保持所述去除对象物的状态下，冲走所述处理膜而将所述处理膜从所述基板的表面去除，所述溶质具有剥离液形成物质，所述处理膜形成工序包括形成具有固体状态的所述剥离液形成物质的所述处理膜的工序，所述剥离工序包括通过使所述处理膜中的固体状态的所述剥离液形成物质溶解于供给至所述基板的表面的所述剥离液形成液而形成所述剥离液的工序。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。