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龙图腾网恭喜上海大学申请的专利一种基于PdRh负载SnO₂多壳层结构的甲醛MEMS气体传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114166899B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111406436.7，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权一种基于PdRh负载SnO₂多壳层结构的甲醛MEMS气体传感器及其制备方法是由徐甲强;蔡海洁;罗娜;王晨设计研发完成，并于2021-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于PdRh负载SnO₂多壳层结构的甲醛MEMS气体传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及气体传感器技术领域，具体地说是一种基于PdRh负载SnO2多壳层结构的甲醛MEMS气体传感器及其制备方法，水热法制备碳球模板，硬模板法制备SnO2多壳层空心球，PdRh负载SnO2多壳层空心球的制备，将制备的材料放入研钵中，滴入黏合剂研磨5～10min，得到粘稠状的浆料涂覆在带有Pt叉指电极底上，烘干后将得到的MEMS器件放置在带有加热和测试电极的底座上在在1.5V电压下老化24～72h，本发明同现有技术相比，采用PdRh双金属对SnO2多壳层空心球进行改性，制备出气敏性能一致性好的低功耗MEMS甲醛气体传感器，提高传感器的响应、反应速度与灵敏度，能够检测到ppb级别的甲醛浓度。

本发明授权一种基于PdRh负载SnO₂多壳层结构的甲醛MEMS气体传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于PdRh负载SnO2多壳层结构的甲醛MEMS气体传感器的制备方法，其特征在于包括有以下步骤：S1：通过水热法制备碳球模板，配制0.1～0.3M蔗糖溶液60mL置于100mL反应釜，150～200℃水热反应8～12h，自然冷却至室温，收集反应釜中的黑褐色产物，用去离子水和乙醇交替清洗3～5遍，60～90℃的恒温干燥箱中干燥8～12h备用；S2：采用硬模板法制备SnO2多壳层空心球，首先配制30mL浓度为1～3M的水合四氯化锡SnCl4·5H2O溶液，加入0.6～1.5g碳球，超声分散15～30min后，继续磁力搅拌4～8h后真空抽滤，去离子水清洗3～5遍，60～90℃干燥8～12h，将干燥后的样品以1～10℃min的速率升温至500℃保温1h，自然冷却至室温，即得到SnO2多壳层空心球；S3：PdRh负载SnO2多壳层空心球的制备，首先，称取100～200mgSnO2多壳层空心球加到10mL的蒸馏水中，超声5～10min使其充分分散，然后取0.01～0.03mmol的H2PdCl4和RhCl3·3H2O加到上述混合溶液中，接着加入1mL0.1M的AA溶液，常温反应3h，产物离心收集并用蒸馏水洗涤3～5次，最后在60℃下干燥12h，即得到PdRh负载SnO2多壳层空心球；S4：将制备的PdRh负载SnO2多壳层空心球材料放入研钵中，滴入黏合剂，研磨5～10min，得到粘稠状的浆料，用小毛刷沾取少量的浆料，涂覆在带有Pt叉指电极底上，然后将其在室温下烘干，得到具有PdRh负载SnO2材料敏感层MEMS器件，最后将得到的MEMS器件放置在带有加热电极和测试电极的底座上在1.5V电压下老化24～72h，从而得到基于PdRh负载SnO2多壳层空心球材料的甲醛气体传感器。

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