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龙图腾网恭喜深圳绿源轩电子技术有限公司申请的专利一种半导体晶圆喷头式兆声波清洗设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119297126B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411821014.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种半导体晶圆喷头式兆声波清洗设备及方法是由梁珍友;韩亮亮设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆喷头式兆声波清洗设备及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体晶圆处理的技术领域，特别涉及一种半导体晶圆喷头式兆声波清洗设备及方法，包括矩形箱，矩形箱的中部开设有贯通至其两侧的贯通槽，贯通槽内滑动设置有放置板，放置板上设置有用于放置晶圆的放置单元，且矩形箱上端开设有贯通至其内部的圆槽，圆槽上安装有用于对放置板上的晶圆进行兆声波清洗的兆声波单元，本发明中的多个放置单元呈圆周排列，并能够带动晶圆进行自转，同步的兆声波单元还能够沿着圆槽的排布路径进行转动，因此，仅通过一个兆声波装置即可以对多个晶圆进行同步清洗，效率较高，进一步提高了本发明的适用性。

本发明授权一种半导体晶圆喷头式兆声波清洗设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆喷头式兆声波清洗设备，包括矩形箱（1），其特征在于：所述的矩形箱（1）的中部开设有贯通至其两侧的贯通槽，贯通槽内滑动设置有放置板（10），放置板（10）上设置有用于放置晶圆的放置单元（2），且矩形箱（1）上端开设有贯通至其内部的圆槽，圆槽上安装有用于对放置板（10）上的晶圆进行兆声波清洗的兆声波单元（3）；所述的放置单元（2）包括对称开设在放置板（10）上的两个弧形槽（20），弧形槽（20）的一侧内壁转动设置有矩形板（21），矩形板（21）上开设有圆形槽（22），且两侧矩形板（21）上的圆形槽（22）沿圆槽轴心均匀排布；所述的圆形槽（22）内侧壁上还开设有与其贯通的环形槽（23），且相邻两侧的环形槽（23）相互贯通，环形槽（23）内转动设置有转动圈（24），转动圈（24）内侧壁上设置有弧形膜（25），且转动圈（24）的内壁上还设置有数个位于弧形膜（25）内的推簧杆（26），且推簧杆（26）沿圆形槽（22）轴心均匀分布，推簧杆（26）的伸缩端设置有贴附在弧形膜（25）内侧的弧形贴板（27）；所述的放置板（10）上设置有用于带动两个矩形板（21）进行转动驱动组件（7），驱动组件（7）包括开设在放置板（10）上并与两个弧形槽（20）相贯通的矩形槽（70），矩形板（21）的一侧设置有位于贯通槽内的驱使轴（71），矩形槽（70）的内壁上还转动设置有两个对称分布的换向轴（72），两个换向轴（72）分别与对应的驱使轴（71）通过带传动的方式相连接，两个换向轴（72）之间通过齿轮传动的方式相连接，一侧的换向轴（72）穿过放置板（10）的外侧壁用于与外部电机相连接。

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