恭喜创能动力科技有限公司陈伟钿获国家专利权
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龙图腾网恭喜创能动力科技有限公司申请的专利碳化硅器件及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110718452B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810762446.6，技术领域涉及：H01L21/04；该发明授权碳化硅器件及其制造方法是由陈伟钿;周永昌;张永杰设计研发完成，并于2018-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅器件及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供了碳化硅器件及其制造方法。示例性方法包括对第一硬模进行图案化以形成图案化的第一硬模，利用图案化的第一硬模形成具有与第一导电类型相反的第二导电类型的体区。对第二硬模进行图案化以形成图案化的第二硬模，利用图案化的第一硬模和图案化的第二硬模同时形成具有第二导电类型的接触区和汇区。本发明还公开了其他的示例性方法及碳化硅器件。根据本发明的器件及方法简化了工艺步骤、实现了沟道自对准、减少了器件的单元间距、提升了碳化硅器件的性能和应用。
本发明授权碳化硅器件及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种制造碳化硅器件的方法，所述碳化硅器件的衬底具有第一导电类型，所述方法包括：对第一硬模进行图案化以形成图案化的第一硬模，利用所述图案化的第一硬模形成具有与第一导电类型相反的第二导电类型的体区；以及对第二硬模进行图案化以形成图案化的第二硬模，图案化的第二硬模包括与图案化的第一硬模的侧壁接触的第一部分以及与之后要形成的接触区相对应的第二部分，所述第一部分和所述第二部分之间形成窗口；利用所述图案化的第一硬模和所述图案化的第二硬模同时形成具有第二导电类型的接触区和汇区；其中，离子注入参数设计成使得离子能穿透所述第二部分，在所述体区的表面形成所述接触区，同时透过所述窗口形成所述汇区；所述接触区和所述汇区的掺杂浓度均高于所述体区的掺杂浓度；所述接触区接触并且夹置在两个相邻的源区之间，所述汇区设置在所述体区内或者与所述体区的边缘交叠。
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