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龙图腾网恭喜长川科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆图像校正方法、装置、计算机设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116957955B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310706005.5，技术领域涉及：G06T5/70；该发明授权晶圆图像校正方法、装置、计算机设备和存储介质是由韩亚辉;曾兵兵;张彩红;陈思乡设计研发完成，并于2023-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆图像校正方法、装置、计算机设备和存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆图像校正方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：获取待校正图像，并基于所述待校正图像以及模板图像确定第一互功率谱图像；获取所述第一互功率谱图像中的多个极大值点，并确定每两个所述极大值点之间距离中的最大距离以及最小距离；基于所述最大距离以及所述最小距离确定加权滤波器，并基于所述加权滤波器对所述第一互功率谱图像进行滤波，得到第二互功率谱图像；基于所述第二互功率谱图像确定校正参数，并基于所述校正参数对所述待校正图像进行校正。本申请能够有效避免计算结果陷入局部最优解，通过互功率谱极大值点之间的距离确定加权滤波器并进行滤波，能够有效提高滤波效果，进而提高图像校正的精度。

本发明授权晶圆图像校正方法、装置、计算机设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆图像校正方法，其特征在于，所述方法包括：获取待校正图像，并基于所述待校正图像以及模板图像确定第一互功率谱图像；获取所述第一互功率谱图像中的多个极大值点，并确定每两个所述极大值点之间距离中的最大距离以及最小距离；基于所述最大距离以及所述最小距离确定加权滤波器，并基于所述加权滤波器对所述第一互功率谱图像进行滤波，得到第二互功率谱图像；基于所述第二互功率谱图像确定校正参数，并基于所述校正参数对所述待校正图像进行校正；所述基于所述最大距离以及所述最小距离确定加权滤波器包括：基于所述最小距离确定所述加权滤波器的尺寸参数；基于所述最大距离以及所述最小距离确定每个位置的权重；基于所述尺寸参数以及所述权重确定所述加权滤波器；所述基于所述最大距离以及所述最小距离确定每个位置的权重包括：基于每个位置的行坐标、第一均值以及第一方差确定第一高斯函数，以及基于每个位置的列坐标、第二均值以及第二方差确定第二高斯函数；所述第一均值包括复功率谱的图像均值或所述第一互功率谱图像所有像素的平均值；第二均值包括复功率谱的图像均值或所述第一互功率谱图像所有像素的平均值；所述第一方差和所述第二方差为所述第一互功率谱图像的方差；分别计算得到所述最小距离和每个位置的第一高斯函数的乘积与所述最大距离和每个位置的第二高斯函数的乘积之间的乘积差值，将所述乘积差值确定为每个位置的权重；所述校正参数包括像素偏移量，所述基于所述第二互功率谱图像确定校正参数包括：基于所述第二互功率谱图像确定最大频率响应点；根据所述最大频率响应点对应的第二预设矩阵中的频率响应值总和以及所述最大频率响应点对应的预设邻域中的最大频率响应值，确定所述像素偏移量；所述第二预设矩阵包括所述最大频率响应点以及该最大频率响应点对应的邻域。

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