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龙图腾网恭喜苏州光筑激光设备有限公司申请的专利用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114825032B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210546999.4，技术领域涉及：H01S5/026；该发明授权用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及其控制方法是由王硕设计研发完成，并于2022-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及控制方法，MPU分别连接三个LD组驱动单元、与门二和与门三以及固态继电器；与门一的输出端连接与门二和与门三，与门二的输出端连接多路模拟开关，与门三的输出端连接多路模拟开关；模拟接口的输出控制端连接多路模拟开关；数模转换器的输出端口连接多路模拟开关；可调电阻的可调端连接多路模拟开关；多路模拟开关的输出端分别连接三个LD组驱动单元；防浪涌二极管的一端接地，另一端与驱动电源输出并联接固态继电器的输入端；固态继电器的输出端分别连接三个LD组驱动单元；三个LD组驱动单元的电流感应电压输出端分别连接模数转换器和加法放大器；有效避免电路受浪涌电压冲击。

本发明授权用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及其控制方法在权利要求书中公布了：1.用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统，其特征在于：通信接口（1）的通信端口连接MPU（2）的通信端口，MPU（2）的三个IO引脚分别连接至LD组驱动单元一（10）、LD组驱动单元二（11）、LD组驱动单元三（12）的使能输入端；MPU（2）的两个IO引脚分别连接至与门二（5）和与门三（6）的输入端；MPU（2）的一个IO引脚连接至固态继电器（13）的控制引脚输入端；MPU（2）的I2C总线端口连接模数转换器（3）的I2C总线端口；MPU（2）的SPI总线端口连接数模转换器（7）的SPI总线端口；与门一（4）的输出端连接至与门二（5）和与门三（6）的输入端；与门二（5）的输出端连接多路模拟开关（8）的选择端口一，与门三（6）的输出端连接多路模拟开关（8）的选择端口二；模拟接口（17）的输出控制端连接至多路模拟开关（8）的模拟输入端口一；数模转换器（7）的输出端口连接至多路模拟开关（8）的模拟输入端口二；可调电阻（20）的可调端连接至多路模拟开关（8）的模拟输入端三；可调电阻（20）的一端连接地GND，另一端连接基准电压单元（9）的输出端；多路模拟开关（8）的输出端分别连接至LD组驱动单元一（10）、LD组驱动单元二（11）、LD组驱动单元三（12）的电流设定输入端；防浪涌二极管（21）的一端接地GNG，另一端与驱动电源（14）输出并联接至固态继电器（13）的输入端；固态继电器（13）的输出端分别连接至LD组驱动单元一（10）、LD组驱动单元二（11）、LD组驱动单元三（12）的电源输入端；LD组驱动单元一（10）的电流感应电压输出端连接至模数转换器（3）的模拟输入端口一以及加法放大器（15）的输入端口一；LD组驱动单元二（11）的电流感应电压输出端连接至模数转换器（3）的模拟输入端口二以及加法放大器（15）的输入端口二；LD组驱动单元三（12）的电流感应电压输出端连接至模数转换器（3）的模拟输入端口三以及加法放大器（15）的输入端口三；加法放大器（15）输出端连接至比较器一（16）的输入端；比较器一（16）的输出端连接至与门一（4）的输入端；温度传感器（18）的输出端连接至比较器二（19）的输入端、模拟接口（17）的输入端以及模数转换器（3）的模拟输入端口四；比较器二（19）的输出端连接至与门一（4）的输入端。

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