恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司王帅获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利光刻机、运动台定位测量系统及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690570B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011591817.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻机、运动台定位测量系统及其工作方法是由王帅设计研发完成，并于2020-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻机、运动台定位测量系统及其工作方法在说明书摘要公布了：本发明提供的光刻机、运动台定位测量系统及其工作方法，通过在运动台定位测量系统内设置吹排装置，所述吹排装置安装在所述运动台上读头区域，随运动台移动，所述吹排装置用于向平面光栅表面吹淋离子气体去除光栅表面静电，减少因静电而吸附的颗粒物，保持光栅尺光路洁净度；所述吹排装置还可以清洁和带走光栅尺表面颗粒，保持表面洁净度，保持测量精度稳定，减少平面光栅表面吸附颗粒物，保持光栅尺光路洁净度，能对运动台全行程工作场景提供更精确的位置测量；所述运动台定位测量系统不需要将运动台和平面光栅拖出光刻机进行清洁，保证运动台全行程工作场景，提供更精确的位置测量同时提高工作效率。
本发明授权光刻机、运动台定位测量系统及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种运动台定位测量系统，其特征在于，所述系统包括参考框架、读头、平面光栅、运动台和吹排装置，所述读头安装在所述运动台上，所述平面光栅安装在所述参考框架上，所述吹排装置用于清洁所述平面光栅，所述吹排装置安装在所述运动台上且可跟随所述运动台移动；其中，所述吹排装置包括吹排分流块，所述吹排分流块中设置有环形吹风口，所述读头位于所述环形吹风口中间，所述环形吹风口可形成包围所述读头的气帘，以使吹离所述平面光栅表面的污染物颗粒抽走。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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