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龙图腾网恭喜江苏天芯微半导体设备有限公司申请的专利一种外延设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119287504B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411814810.0，技术领域涉及：C30B25/16；该发明授权一种外延设备是由赵宏波设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种外延设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种外延设备，包括：上穹顶、下穹顶、加热组件、第一控温组件和第二控温组件。所述上穹顶和所述下穹顶连接形成腔室，所述腔室用于容纳晶圆。所述加热组件位于所述腔室的外部，用于给所述腔室内辐射热量。所述第一控温组件设置在上穹顶的边缘，所述第一控温组件用于向所述上穹顶的上表面提供控温气体；所述第二控温组件设置在所述下穹顶边缘，所述第二控温组件用于向所述下穹顶的下表面提供控温气体。本发明的外延设备通过增设第一控温组件和第二控温组件解决工艺气体沉积在上穹顶和下穹顶表面的问题，提高透过上穹顶和下穹顶的热辐射对晶圆的加热效率和加热均匀性。

本发明授权一种外延设备在权利要求书中公布了：1.一种外延设备，其特征在于，包括：上穹顶和下穹顶，上穹顶和下穹顶连接形成腔室，腔室用于容纳晶圆；加热组件，位于腔室的外部，用于给腔室内辐射热量；上法兰和下法兰，上法兰设置于上穹顶的边缘处，用于将上穹顶固定于所述腔室，且上法兰的外侧壁设有上进气嘴；下法兰设置于下穹顶的边缘处，用于将下穹顶固定于腔室，且下法兰的外侧壁设有下进气嘴；第一控温组件和第二控温组件，设置在腔室的外侧，第一控温组件设置于上法兰，第一控温组件用于向上穹顶的上表面提供控温气体；第二控温组件设置于所述下法兰，第二控温组件用于向所述下穹顶的下表面提供控温气体；第一控温组件包括第一层管路组和第二层管路组；所述第二层管路组中的气体流速大于所述第一层管路组中的气体流速；第一层管路组设置于所述上法兰内，第一层管路组包括出气方向沿着第一方向的多个第一管路和出气方向沿着第二方向的多个第二管路；第一管路和第二管路位于同一平面，第一方向和第二方向的方向相反；第一管路和第二管路的出气方向与上穹顶的非中心区域相切；第一管路和第二管路之间错位排布。

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