成都高真科技有限公司金东镇获国家专利权
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龙图腾网获悉成都高真科技有限公司申请的专利一种晶圆电镀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222821693U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421759434.5，技术领域涉及：C25D17/00；该实用新型一种晶圆电镀装置是由金东镇设计研发完成，并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆电镀装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种晶圆电镀装置。本实用新型中的晶圆电镀装置包括电源组件和电镀容器，电镀容器具有电镀槽、阴极环以及容纳于电镀槽内的电镀液、晶圆和阳极电极，晶圆和阳极电极浸没于电镀液中，电镀槽侧壁的顶部连接有支架，支架具有环形腔室，环形腔室与电镀槽连通，阴极环设置在环形腔室内，支架背离电镀槽的一侧开设有出液口，出液口和环形腔室连通，电源组件用于为电镀容器供电。通过使用本技术方案中的晶圆电镀装置，无需进行阴极环的更换或拆卸清洗，极大程度上降低了装置维护成本，并且简化了装置维护流程，提高生产效率。
本实用新型一种晶圆电镀装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆电镀装置，其特征在于，包括：电源组件和电镀容器100，所述电镀容器100具有电镀槽101、阴极环400以及容纳于所述电镀槽101内的电镀液、晶圆200和阳极电极300，所述晶圆200和所述阳极电极300浸没于所述电镀液中，所述电镀槽101侧壁的顶部连接有支架500，所述支架500具有环形腔室，所述环形腔室与所述电镀槽101连通，所述阴极环400设置在所述环形腔室内，所述支架500背离所述电镀槽101的一侧开设有出液口501，所述出液口501和所述环形腔室连通，所述电源组件用于为所述电镀容器100供电。
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