恭喜琳得科株式会社佐藤阳辅获国家专利权
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龙图腾网恭喜琳得科株式会社申请的专利带支撑片的膜状烧成材料、辊体、层叠体及装置的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113874984B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080037701.6,技术领域涉及:H01L21/301;该发明授权带支撑片的膜状烧成材料、辊体、层叠体及装置的制造方法是由佐藤阳辅;市川功;中山秀一设计研发完成,并于2020-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本带支撑片的膜状烧成材料、辊体、层叠体及装置的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种带支撑片的膜状烧成材料100,其具备在基材膜3上具有粘着剂层4的支撑片2与设置在粘着剂层4上的膜状烧成材料1,所述带支撑片的膜状烧成材料100用于将所述膜状烧成材料贴附于在外周部具有环状凸部的晶圆的具有所述环状凸部的一面侧的内周部,膜状烧成材料1的直径为所述晶圆的内周部的直径以下。
本发明授权带支撑片的膜状烧成材料、辊体、层叠体及装置的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种带支撑片的膜状烧成材料,其具备在基材膜上具有粘着剂层的支撑片与设置在所述粘着剂层上的膜状烧成材料,所述带支撑片的膜状烧成材料用于将所述膜状烧成材料贴附于在外周部具有环状凸部的晶圆的具有所述环状凸部的一面侧的内周部,所述膜状烧成材料的直径为所述晶圆的所述内周部的直径以下,所述支撑片的厚度为120μm以下,所述支撑片的通过下述测定方法而测定的伸长5%时的载荷为13N15mm以下,测定方法:对于以宽度为15mm且长度为150mm的方式切割所述支撑片而得到的试验片,在23℃、50%RH的环境下,以夹头间距为100mm、拉伸速度为200mm分钟的条件拉伸所述试验片,并测定相对于位移量的载荷,其中,当所述粘着剂层为固化性时,所述试验片为固化前的所述试验片。
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