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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利避免沉积副产物积聚的真空泵保护获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113169094B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980078104.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权避免沉积副产物积聚的真空泵保护是由约翰·斯蒂芬·德雷维瑞;汤姆·A·坎普;严浩泉;约翰·爱德华·多尔蒂;阿里·苏希普托·谭;曾明奎;布鲁斯·弗里曼设计研发完成，并于2019-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本避免沉积副产物积聚的真空泵保护在说明书摘要公布了：一种处理室例如等离子体蚀刻室可执行沉积和蚀刻操作，其中沉积和蚀刻操作的副产物可能在与处理室流体耦合的真空泵系统中积聚。真空泵系统可具有多个粗抽泵，使得蚀刻气体可被分流至一粗抽泵而沉积前体可被分流至另一粗抽泵。分流管线可将未使用的沉积前体引导通过分离的粗抽泵。通过在真空泵系统中的初级泵的出口处包含一或更多个气体喷射器或文丘里泵，可避免沉积副产物形成。使用某些清洁化学品的清洁操作例如无晶片自动清洁操作可在蚀刻操作之前或之后将沉积副产物去除。

本发明授权避免沉积副产物积聚的真空泵保护在权利要求书中公布了：1.一种用于蚀刻与沉积操作的处理设备，其包含：处理室；蚀刻气体输送系统，其被配置成将一或更多种蚀刻气体导入所述处理室中；以及沉积前体输送系统，其被配置成将一或更多种沉积前体导入所述处理室中；以及真空泵系统，其与所述处理室流体连通，其中所述真空泵系统包含：第一粗抽泵；第二粗抽泵，其中所述真空泵系统被配置成将所述一或更多种蚀刻气体引导通过所述第一粗抽泵，并且将所述一或更多种沉积前体引导通过所述第二粗抽泵；涡轮分子泵，所述涡轮分子泵流体连通所述第一粗抽泵和所述第二粗抽泵中的一或两者；前级管线，其与所述处理室流体连通，且被配置成接收来自所述处理室的所述一或更多种蚀刻气体和所述一或更多种沉积前体；阀，其耦合至所述前级管线，且被配置成将所述一或更多种蚀刻气体引导通过在第一位置的所述第一粗抽泵，且被配置成将所述一或更多种沉积前体引导通过在第二位置的所述第二粗抽泵；以及分流管线，其与所述沉积前体输送系统流体连通，其中所述分流管线被配置成将沉积循环中的未使用的沉积前体从所述沉积前体输送系统分流通过所述第二粗抽泵。

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