恭喜北京特思迪半导体设备有限公司高志明获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利抛光压头及单面抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119550235B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510127433.1，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权抛光压头及单面抛光设备是由高志明;蒋继乐设计研发完成，并于2025-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本抛光压头及单面抛光设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种抛光压头及单面抛光设备，抛光压头包括：支撑盘，支撑盘上设置有圆形孔；下压件，下压件的下端面用于固定晶圆，下压件与支撑盘通过柔性连接件连接；扭矩传递件，扭矩传递件包括第一连接部和第二连接部，第二连接部与下压件固定连接，第一连接部的环侧面设置为向外凸出的曲面，曲面与圆形孔间隙配合，第二连接部不与圆形孔相接触；当支撑盘通过圆形孔的内壁向曲面传递扭矩带动下压件转动时，第一连接部在圆形孔中上下移动，以使下压件的下端面与抛光端面保持平行。本发明实现了在抛光的过程中减少扭矩传递件与圆形孔的接触面积和接触位置，减小在抛光过程扭矩传递件的运动阻力，提高在抛光过程中抛光压头的自适应能力的技术效果。
本发明授权抛光压头及单面抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种抛光压头，其特征在于，包括：支撑盘，所述支撑盘上设置有圆形孔；下压件，所述下压件的下端面用于固定晶圆，所述下压件与所述支撑盘通过柔性连接件连接；扭矩传递件，所述扭矩传递件包括第一连接部和第二连接部，所述第二连接部与所述下压件固定连接，所述第一连接部的环侧面设置为向外凸出的曲面，所述曲面与所述圆形孔间隙配合，所述第二连接部不与所述圆形孔相接触；当所述支撑盘通过所述圆形孔的内壁向所述曲面传递扭矩带动所述下压件转动时，所述第一连接部在所述圆形孔中上下移动，以使所述下压件的下端面与抛光端面保持平行。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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