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龙图腾网恭喜麦盖提顺鑫工艺品有限公司申请的专利一种光掩膜基板处理用智能上料工具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119024638B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411162851.6，技术领域涉及：G03F1/68；该发明授权一种光掩膜基板处理用智能上料工具是由周学文;李周坤设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光掩膜基板处理用智能上料工具在说明书摘要公布了：本发明涉及一种光掩膜基板处理用智能上料工具，包括固定架、上料模块、升降模块和清理模块，固定架为U型结构，固定架下端安装有上料模块，固定架内对称安装有升降模块，升降模块呈对角布置，固定架中部对称安装有清理模块，清理模块呈对角布置。本发明可以实现对光掩膜基板的上料功能，同时能够对光掩膜基板表面进行清理。

本发明授权一种光掩膜基板处理用智能上料工具在权利要求书中公布了：1.一种光掩膜基板处理用智能上料工具，包括固定架（1）、上料模块（2）、升降模块（3）和清理模块（4），其特征在于，所述固定架（1）为U型结构，固定架（1）下端安装有上料模块（2），固定架（1）内对称安装有升降模块（3），升降模块（3）呈对角布置，固定架（1）中部对称安装有清理模块（4），清理模块（4）呈对角布置；所述上料模块（2）包括回形架（21）、封盖（22）、挡料板（23）、弹簧一（24）、伸缩槽（25）、弹簧二（26）和伸缩杆（27），所述回形架（21）安装在固定架（1）上，回形架（21）左端通过螺钉安装有封盖（22），回形架（21）内设置有挡料板（23），封盖（22）与挡料板（23）之间对称连接有弹簧一（24），回形架（21）右端内壁上均匀设置有伸缩槽（25），伸缩槽（25）内设置有伸缩杆（27），伸缩杆（27）端部为弧形的光滑面，伸缩杆（27）与伸缩槽（25）内壁之间连接有弹簧二（26），回形架（21）右端部对称设置有海绵垫；所述升降模块（3）包括滑轨（31）、滑动架（32）、伸缩气缸（33）、吸料架（34）和连杆（35），所述在固定架（1）侧壁上对称安装有滑轨（31），滑轨（31）上安装有滑动架（32），滑动架（32）内侧面上安装有伸缩气缸（33），伸缩气缸（33）的顶端安装有吸料架（34），两个滑动架（32）之间对称连接有连杆（35）；所述清理模块（4）包括U形架（41）、涂抹单元（42）、刮涂单元（43）和清扫单元（44），所述U形架（41）安装在固定架（1）侧壁上，U形架（41）内由下而上依次安装有涂抹单元（42）、刮涂单元（43）和清扫单元（44），涂抹单元（42）、刮涂单元（43）和清扫单元（44）内侧面平齐；所述刮涂单元（43）包括矩形架（431）、刮涂架（432）、弧形槽（433）、刮板（434）和出料管道（435），所述矩形架（431）安装在U形架（41）中部，矩形架（431）上通过螺钉均匀安装有刮涂架（432），刮涂架（432）呈向下倾斜布置，刮涂架（432）截面呈C形结构，刮涂架（432）内部设置有弧形槽（433），刮涂架（432）内侧上端安装有刮板（434），矩形架（431）内部下端设置有收集槽，弧形槽（433）通过竖槽与收集槽相连接，竖槽开设在矩形架（431）内壁上，矩形架（431）外壁上安装有出料管道（435），出料管道（435）与收集槽相连通；所述刮板（434）截面呈锥形结构，刮板（434）为橡胶材质，刮板（434）内侧面上均匀设置有挡杆，挡杆长度从外到内逐渐增大；截面呈锥形结构的刮板（434）有效刮除光掩模基板表面的有机溶剂，橡胶材质的刮板（434）防止在对光掩模基板表面进行刮涂的过程中对光掩模基板造成划伤，刮板（434）内侧上均匀设置的挡杆起到对有机溶剂进行导流的作用，防止有机溶剂堆积在刮板（434）侧面上，使得有机溶剂沿挡杆掉落在弧形槽（433）内。

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