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龙图腾网获悉江苏润鹏半导体有限公司申请的专利一种半导体晶圆加工用高效匀胶装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118550157B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410560107.5，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权一种半导体晶圆加工用高效匀胶装置是由鲍秉国;翟杰;史伟;梁天宇;钦礼辉;李中秋设计研发完成，并于2024-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆加工用高效匀胶装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体晶圆加工用高效匀胶装置，包括操作台、供胶组件、旋转式匀胶机构、匀胶厚度控制组件和边缘控胶机构，操作台的中心处开设有安装口且一侧配备有控制台，安装口处设置有顶盘，供胶组件安装于操作台的一侧且包括储胶容器、泵体、输胶管、旋转支撑臂和喷头，储胶容器安装于操作台的侧面且上方与泵体相连接，泵体的出料口通过输胶管与喷头相连接，喷头安装于旋转支撑臂的前端且位于安装口的正上方，旋转支撑臂安装于操作台上，旋转式匀胶机构安装于安装口处且包括外罩和内置于外罩内的电机一。本发明所设计的半导体晶圆匀胶设备可以实现对半导体晶圆的自动化匀胶、厚度控制和边缘修整处理，大大提高了对半导体晶圆的匀胶效果。

本发明授权一种半导体晶圆加工用高效匀胶装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆加工用高效匀胶装置，其特征在于：包括操作台（1）、供胶组件、旋转式匀胶机构、匀胶厚度控制组件和边缘控胶机构，所述操作台（1）的中心处开设有安装口（2）且一侧配备有控制台（3），所述安装口（2）处设置有顶盘（4），所述供胶组件安装于操作台（1）的一侧且包括储胶容器（5）、泵体（6）、输胶管（7）、旋转支撑臂（8）和喷头（9），所述储胶容器（5）安装于操作台（1）的侧面且上方与泵体（6）相连接，所述泵体（6）的出料口通过输胶管（7）与喷头（9）相连接，所述喷头（9）安装于旋转支撑臂（8）的前端且位于安装口（2）的正上方，所述旋转支撑臂（8）安装于操作台（1）上，所述旋转式匀胶机构安装于安装口（2）处且包括外罩（10）和内置于外罩（10）内的电机一（11），所述电机一（11）的动力输出端安装有吸盘（12），所述吸盘（12）位于喷头（9）的正下方，所述顶盘（4）的表面还开设有若干组环形槽（13），所述匀胶厚度控制组件设置于顶盘（4）的正下方，所述匀胶厚度控制组件由若干组匀胶控制器组成，所述匀胶控制器包括对称设置的两组浮动器（14）和设置于两组浮动器（14）上方的浮动限位环（15），所述浮动限位环（15）活动穿插于环形槽（13）内，所述边缘控胶机构安装于浮动限位环（15）上，所述旋转支撑臂（8）包括电机二（16）和安装于电机二（16）动力输出端的立杆（17），所述立杆（17）的中部固定有横梁（18），所述喷头（9）固定于横梁（18）上，若干组所述环形槽（13）呈同心状分布，位于内侧的所述环形槽（13）直径小于外侧所述环形槽（13）直径，若干组所述浮动限位环（15）均匀分布于环形槽（13）内，所述浮动器（14）包括马达（19）和安装于马达（19）动力输出端的转动轮（20），所述转动轮（20）的边缘固定有拨动块（21），所述拨动块（21）的一端厚度大于另一端厚度且与浮动限位环（15）的底部相接触，相邻两组所述浮动限位环（15）中，位于内侧的所述浮动限位环（15）直径小于外侧所述浮动限位环（15）直径，所述浮动限位环（15）呈环状结构，所述边缘控胶机构包括牵引器（22）、密封胶圈（23）、输气管（24）和气泵（25），所述牵引器（22）分设有两组且对称安装于浮动限位环（15）的顶部，所述密封胶圈（23）活动设置于浮动限位环（15）的内侧且上端与牵引器（22）相连接，所述输气管（24）的一端与密封胶圈（23）相连接且另一端与气泵（25）相连接，所述牵引器（22）包括外壳（26）和内置于外壳（26）内部的电机三（27），所述电机三（27）的动力输出端连接有收卷辊（28），所述收卷辊（28）上缠绕有通电线（29），所述通电线（29）的下端与密封胶圈（23）相连接且一侧连接有导电杆（30），所述导电杆（30）的一侧均匀分布有若干组接触头（31），若干组所述接触头（31）从上到下均匀分布且通过线路并联有供电电源（32），所述密封胶圈（23）采用绝缘材料且包括气环（33）和设置于气环（33）下方的环形叶片（34），所述气环（33）与输气管（24）相连接。

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