西安交通大学刘立军获国家专利权
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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利单晶炉的能耗降低方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118484923B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410548416.0,技术领域涉及:G06F30/20;该发明授权单晶炉的能耗降低方法、装置、设备及存储介质是由刘立军;祁超;李早阳;李登辇设计研发完成,并于2024-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本单晶炉的能耗降低方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请公开了一种单晶炉的能耗降低方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质,属于单晶硅制备领域,包括:构建单晶炉的物理模型;根据物理模型,建立单晶炉在工作条件下的热力学方程,并求解热力学方程,以获得单晶炉在工作条件下的热力学分布;根据热力学分布,确定单晶炉损耗能量的传递参数;根据传递参数,在多个单晶炉部件中确定目标单晶炉部件,并对目标单晶炉部件改造,以降低单晶炉的总体能耗。本发明通过对热传递关系的数学描述和求解,准确地分析了单晶炉中损耗能量的流转,以识别出能量损耗明显的部件,进而得以进行针对性改造。解决了现有技术中,无法准确选出需要改造的单晶炉部件以降低单晶炉能耗的问题。
本发明授权单晶炉的能耗降低方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种单晶炉的能耗降低方法,其特征在于,包括:构建单晶炉的物理模型;所述物理模型用以表征所述单晶炉的几何构造和工作参数;根据所述物理模型,建立单晶炉在工作条件下的热力学方程,并求解所述热力学方程,以获得单晶炉在工作条件下的热力学分布;所述热力学方程用以表征单晶炉在工作条件下的热传递关系;所述热力学分布用以表征单晶炉在工作条件下的热力学状态;根据所述热力学分布,确定所述单晶炉损耗能量的传递参数;所述传递参数用以表征所述损耗能量在单晶炉的多个单晶炉部件之间的流转方式、流转路径、流转量;根据所述传递参数,在多个单晶炉部件中确定目标单晶炉部件,并对所述目标单晶炉部件改造,以降低所述单晶炉的总体能耗;所述传递参数包括传输路径和能耗传输值,所述传输路径包括导热传输路径和热辐射传输路径,所述能耗传输值包括热辐射能耗传输值和导热值;所述根据所述传递参数,在多个单晶炉部件中确定目标单晶炉部件,包括:在所述热辐射传输路径两端的两个单晶炉部件的热辐射能耗传输值超过预设的热辐射阈值的情况下,将两个所述单晶炉部件中吸热的单晶炉部件确定为目标单晶炉部件;在所述导热传输路径两端的两个单晶炉部件的导热输值超过预设的导热阈值的情况下,将两个所述单晶炉部件都确定为目标单晶炉部件;所述对所述目标单晶炉部件改造,以降低所述单晶炉的总体能耗,包括:在所述目标单晶炉部件的热辐射能耗传输值超过预设的热辐射阈值的情况下,对所述目标单晶炉部件表面做出反射处理,以使得所述目标单晶炉部件的能量吸收降低;在所述目标单晶炉部件的导热传输路径所对应的导热值超过预设的导热阈值的情况下,降低所述导热传输路径两端的单晶炉部件的接触面积,以使得所述导热传输路径两端的单晶炉部件的导热性能降低。
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