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龙图腾网恭喜上海朋熙半导体有限公司申请的专利缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117611879B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311467228.7，技术领域涉及：G06V10/764；该发明授权缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读介质是由乔海瑞设计研发完成，并于2023-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读介质。通过获取待检测对象的待检测图像，将所述待检测图像输入至预先训练的缺陷检测模型中，得到所述缺陷检测模型输出的缺陷检测类别以及各所述缺陷检测类别对应的类别置信度；根据各所述缺陷检测类别和各所述缺陷检测类别对应的类别置信度，确定候选缺陷类别；获取晶圆特征图，基于所述晶圆特征图确定晶圆缺陷类别；根据所述候选缺陷类别和所述晶圆缺陷类别确定所述待检测图像的目标缺陷类别。可以至少用以解决半导体缺陷定位不准确的技术问题。

本发明授权缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读介质在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括：获取待检测对象的待检测图像，将所述待检测图像输入至预先训练的缺陷检测模型中，得到所述缺陷检测模型输出的缺陷检测类别以及各所述缺陷检测类别对应的类别置信度；根据各所述缺陷检测类别和各所述缺陷检测类别对应的类别置信度，确定候选缺陷类别；获取晶圆特征图，基于所述晶圆特征图确定晶圆缺陷类别；根据所述候选缺陷类别和所述晶圆缺陷类别确定所述待检测图像的目标缺陷类别；其中，所述基于所述晶圆特征图确定晶圆缺陷类别，包括：根据所述晶圆特征图中的缺陷点位分布，确定晶圆问题区域，并基于预先构建的标准缺陷类别的标准点位分布和所述缺陷点位分布确定所述晶圆缺陷类别；其中，当所述晶圆问题区域的个数为至少两个时，所述根据所述候选缺陷类别和所述晶圆缺陷类别确定所述待检测图像的目标缺陷类别，包括：根据晶圆问题区域、所述晶圆缺陷类别和所述候选缺陷类别确定所述目标缺陷类别；其中，所述根据晶圆问题区域、所述晶圆缺陷类别和所述候选缺陷类别确定所述目标缺陷类别，包括：若所述晶圆缺陷类别与所述晶圆问题区域对应，且所述候选缺陷类别中存在与所述晶圆缺陷类别一致的类别，则将所述晶圆缺陷类别作为所述目标缺陷类别；若所述晶圆缺陷类别与所述晶圆问题区域不对应且所述候选缺陷类别中不存在与所述晶圆问题区域对应的缺陷类别，或所述晶圆缺陷类别与所述晶圆问题区域对应且所述候选缺陷类别中存在与所述晶圆问题区域对应的缺陷类别，则基于所述候选缺陷类别的位置信息对所述候选缺陷类别的类别置信度进行更新，并将更新后的类别置信度最高的候选缺陷类别作为所述目标缺陷类别；若所述晶圆缺陷类别与所述晶圆问题区域不对应，且所述候选缺陷类别中不存在与所述晶圆问题区域对应的缺陷类别，则将类别置信度最高的候选缺陷类别作为所述目标缺陷类别。

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