恭喜福建华佳彩有限公司陈宇怀获国家专利权
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龙图腾网恭喜福建华佳彩有限公司申请的专利一种薄膜晶体管结构及制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111599867B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010396218.9,技术领域涉及:H10D30/67;该发明授权一种薄膜晶体管结构及制作方法是由陈宇怀设计研发完成,并于2020-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜晶体管结构及制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种薄膜晶体管结构及制作方法,包括基板和所述基板上的第一金属层、有源层、第二金属层;所述有源层包括:侧壁有源层,所述第一金属层为柱形结构,第一金属层的底面与基板上表面平行,所述侧壁有源层环绕所述第一金属层的侧面,所述侧壁有源层的侧面与第一金属层的侧面之间形成有源层电通道,且通道内还设有绝缘层;侧壁有源层的顶部两端分别连接有一第二金属层。有效利用第一金属层侧表面与有源层形成有源层导电通道,提高TFT器件反应速率与开态电流,有利于在超高分辨率面板中的应用。并且提供的TFT结构,在器件受到拉伸以及弯折时形变量更小,且可以更好的分散形变产生的应力,使器件保持为稳定,利于未来制造可弯折或可拉伸面板。
本发明授权一种薄膜晶体管结构及制作方法在权利要求书中公布了:1.一种薄膜晶体管结构,其特征在于,包括基板和所述基板上的第一金属层、有源层、第二金属层以及第三金属层;所述有源层包括:侧壁有源层,所述第一金属层为柱形结构,第一金属层的底面与基板上表面平行,所述侧壁有源层环绕所述第一金属层的侧面,所述侧壁有源层的侧面与第一金属层的侧面之间形成有源层电通道,且通道内还设有绝缘层;侧壁有源层的顶部两端分别连接有一第二金属层;所述第三金属层为顶部开口、内部中空的柱形结构,且所述第三金属层套设于所述有源层外周;所述第三金属层底部与基板连接,且所述第三金属与所述有源层间还设有绝缘层。
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