恭喜希尔福克斯有限公司陈继宏获国家专利权
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龙图腾网恭喜希尔福克斯有限公司申请的专利用于等离子体室的L形等离子体约束环获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112534543B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980050977.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于等离子体室的L形等离子体约束环是由陈继宏;宋轶设计研发完成，并于2019-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于等离子体室的L形等离子体约束环在说明书摘要公布了：一种用于等离子体室的等离子体约束环包含环形元件和圆柱形元件。所述环形元件环绕所述等离子体室中的衬底支撑组件，并沿着被放置在所述等离子体室中的所述衬底支撑组件上的衬底所在的平面配置，所述环形元件包含多个孔洞。所述等离子体约束环的所述圆柱形元件从所述环形元件的外缘沿与被放置在所述等离子体室中的所述衬底支撑组件上的所述衬底所在的所述平面垂直的方向延伸。所述等离子体约束环为单件式的。
本发明授权用于等离子体室的L形等离子体约束环在权利要求书中公布了：1.一种用于等离子体室的L形等离子体约束环，其包含：用于所述等离子体室的所述L形等离子体约束环的环形元件，所述环形元件环绕所述等离子体室中的衬底支撑组件，并沿着被放置在所述等离子体室中的所述衬底支撑组件上的衬底所在的平面配置，所述环形元件形成所述L形等离子体约束环的水平部分以及包含多个孔洞；以及用于所述等离子体室中的所述L形等离子体约束环的圆柱形元件，所述圆柱形元件形成所述L形等离子体约束环的竖直部分以及从所述环形元件的外缘沿与被放置在所述等离子体室中的所述衬底支撑组件上的所述衬底所在的所述平面垂直的方向延伸，其中所述圆柱形元件均匀地延伸到上端；其中所述上端不在平行于所述平面的任一方向上延伸；并且其中所述圆柱形元件不在所述环形元件下方延伸；其中所述圆柱形元件的上端能连接至所述等离子体室中的上电极，所述上电极沿着所述平面朝向所述圆柱形元件径向向外延伸；并且其中所述L形等离子体约束环为单件式的。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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