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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利晶片检查获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115343310B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210968490.9，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权晶片检查是由阿纳托利·罗曼诺夫斯基;伊万·马列夫;丹尼尔·卡瓦尔德杰夫;尤里·尤迪特斯凯;迪尔克·沃尔;史蒂文·比耶拉卡设计研发完成，并于2012-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶片检查在说明书摘要公布了：本发明涉及晶片检查。本发明揭示一种经配置以检查晶片的系统，该系统包括照明子系统，其经配置以使由所述照明子系统将多个脉冲光束中的第一者引导到晶片上的区域在时间上早于将所述多个脉冲光束中的第二者引导到所述区域；扫描子系统，其经配置以使所述多个脉冲光束跨所述晶片进行扫描；集光子系统，其经配置以使从所述晶片上的所述区域散射的光成像到一个或多个传感器；计算机子系统，其经配置以使用所述一个或多个传感器的所述输出来检测所述晶片上的缺陷。本发明中的系统可优化检查速度及或灵敏性。

本发明授权晶片检查在权利要求书中公布了：1.一种经配置以检查晶片的系统，其包括：照明子系统，其经配置以通过所述照明子系统先将多个脉冲光束中的第一者引导到晶片上的区域，接著再将所述多个脉冲光束中的第二者引导到所述区域，其中所述多个脉冲光束中的所述第一者与所述第二者在所述晶片上具有彼此不同的形状及大小，其中所述多个脉冲光束中的所述第一者与所述第二者具有彼此不同的波长、彼此不同的偏振或彼此不同的波长及偏振；扫描子系统，其经配置以使所述多个脉冲光束跨所述晶片进行扫描；集光子系统，其经配置以将从所述晶片上的所述区域散射的光成像到一个或多个传感器，其中所述一个或多个传感器响应于所述所散射的光而产生输出；计算机子系统，其经配置以使用所述一个或多个传感器的所述输出来检测所述晶片上的缺陷，且使用响应于归因于所述多个脉冲光束中的所述第一者的照明的来自所述区域的所述所散射的光的所述输出来确定应被引导到所述区域的所述多个脉冲光束中的所述第二者的功率；基于微机电系统的光学切换装置，其位于所述集光子系统和所述传感器之间；以及至少一个额外传感器，其中所述光包括光脉冲，其中所述所散射的光包括散射光脉冲，且其中所述光学切换装置经配置以将由所述光脉冲中的第一组产生的所述散射光脉冲中的第一者引导到所述传感器且将由在所述光脉冲中的第一组后的所述光脉冲中的第二组产生的所述散射光脉冲中的第二者引导到所述至少一个额外传感器。

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