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龙图腾网恭喜上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利反应腔体内部气流速度检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119044532B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411535536.3，技术领域涉及：G01P5/08；该发明授权反应腔体内部气流速度检测装置是由谭小龙;涂乐义;桂智谦;王兆祥;梁洁;彭国发;李一平设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本反应腔体内部气流速度检测装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种反应腔体内部气流速度检测装置，将气流检测装置设置于反应腔体内的加热器上，并与气流速度计算装置通信连接；利用气流检测装置中的导体滑动机构在气体流动作用下的移动引起电阻变化，进而通过气流检测装置的检测电路采集电流变化数据，并基于气体流速检测算法计算获得反应腔体内部局部气体流速。此装置能够直接、准确地测量反应腔体内部局部的气体流动速度，解决了现有技术无法精确控制和优化气体流动的问题，为半导体去胶工艺的精确控制和优化提供了有力支持。

本发明授权反应腔体内部气流速度检测装置在权利要求书中公布了：1.一种反应腔体内部气流速度检测装置，其特征在于，所述装置包括：气流检测装置以及气流速度计算装置；其中，所述气流检测装置设置于反应腔体内的加热器上，与所述气流速度计算装置通信连接；所述气流检测装置，包括：导体滑动机构、固定电压电源以及电流表；所述导体滑动机构、固定电压电源以及电流表依次串联，形成检测电路；所述导体滑动机构，用于在反应腔内部气体流动时导体被带动在导轨上移动，引起导体滑动机构电阻变化，以使检测电路的电流变化；所述导体滑动机构包括导轨结构、导体、弹性部件以及绝缘固定物块；所述导轨结构具有从底端向顶端延伸的导轨，且导轨底端固定于所述绝缘固定物块上；所述导体与导轨滑动连接，以沿滑动轨道方向滑动；所述弹性部件两端分别连接所述绝缘固定物块以及导体，可在所述导体作用下形变；当反应腔体内部由气流产生的风力作用于所述导体时，带动弹性部件产生形变，使所述导体在导轨上沿滑动轨道方向滑动到相应位置；所述导轨结构包括：两个相同且平行布置的导轨，且两个导轨的底端固定于固定物块的固定面上；长方形导体的两个滑动面各自与两个导轨接触，以使长方形导体沿滑动轨道方向滑动；所述弹性部件为弹簧，其形变方向与轨道滑动方向平行，且在反应腔内部没有气体流动时保持初始形态；所述导体具有作用接触面，用于使反应腔体内部的气流所形成的不同方向的风力作用于其上，以被带动沿着对应轨道滑动方向移动；所述导体为长方形导体，与轨道滑动方向平行的两个侧面为与导轨接触的滑动面，平行且垂直滑动轨道方向的两个侧面为作用接触面；两个作用接触面包括：第一作用接触面以及第二作用接触面；其中，第一作用接触面连接所述弹性部件，且第一作用接触面、导轨以及绝缘固定物块的固定面形成一容纳空间，该容纳空间的大小可随长方形导体的移动变化；所述固定电压电源，用于为检测电路提供固定电压；所述电流表，用于实时采集检测电路的电流数据；所述气流速度计算装置，用于基于气体流速检测算法，根据电流表的电流数据计算获得反应腔体内部局部气体流速；其中，所述气体流速检测算法包括： 其中，v为当前的反应腔体内部局部气体流速，U为所述固定电压电源提供的固定电压，I为电流表当前的电流示数，R0为所述导体滑动机构的初始电阻、M为长方形导体的质量、k为弹簧的劲度系数、t为当前的时间、ρ为气流密度、S0为长方体导体的作用接触面的面积、σ为导轨的电导率以及S为导轨的横截面积。

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