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龙图腾网恭喜浙江华辰芯光技术有限公司申请的专利晶圆切边装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118990831B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411497456.3，技术领域涉及：B28D5/00；该发明授权晶圆切边装置及方法是由李宁;余小明;魏明;冷祥设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆切边装置及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆加工的技术领域，尤其是涉及晶圆切边装置及方法包括基座，基座包括平边，基座上表面开设有定位槽，定位槽包括圆弧边和直边；按压块；划刀；裂片夹具，包括夹块，夹块上开始裂片槽。操作人员将晶圆至于基座的定位槽内，晶圆的边缘部分自然从直边的边缘伸出基座。操作人员通过划刀沿直边对晶圆进行划线，划出需要裂开的加工线，操作人员将裂片夹具对准晶圆的边缘部位，并将晶圆的边缘部位插入裂片槽内，倾斜裂片夹具，裂片夹具对晶圆的边缘部位施加作用力将其掰断，从而实现裂片切片的目的。在裂片过程中，裂片夹具施加一次作用力将晶圆进行切边裂片，两者之间产生的振动力较小，从而提高晶圆的切割精度。

本发明授权晶圆切边装置及方法在权利要求书中公布了：1.晶圆切边装置，其特征在于：包括基座（1），所述基座（1）包括至少一条平边（11），所述基座（1）上表面开设有用于容纳晶圆（100）的定位槽（12），所述定位槽（12）与平边（11）相连，所述定位槽（12）包括圆弧边（121）和直边（122）；按压块（2），用于压在晶圆（100）上方；划刀（3），用于在晶圆（100）上划出定向边（110）的加工线；裂片夹具（4），包括夹块（41），所述夹块（41）上开设有用于卡嵌晶圆（100）边缘的裂片槽（411）；所述夹块（41）包括与直边（122）相平行的连接边（412），所述裂片槽（411）的开口位于连接边（412）处，所述裂片槽（411）内可拆卸连接有用于卡嵌晶圆（100）边缘的内衬（42）；所述内衬（42）包括两片正对的衬片（43），两片衬片（43）之间形成用于卡嵌晶圆（100）边缘的夹紧间隙（44），所述衬片（43）由软质弹性材料制成，所述衬片（43）处于自然状态时，夹紧间隙（44）的厚度小于晶圆（100）的厚度；所述衬片（43）内开设有与晶圆（100）方向相平行的形变槽（431），所述形变槽（431）背离连接边（412）的一侧为开口与外部连通，所述夹块（41）内滑动连接有穿设于形变槽（431）内的加强片（45），所述加强片（45）和夹块（41）之间设有复位拉簧（46），所述复位拉簧（46）处于自然状态时，所述加强片（45）靠近连接边（412）的端部与形变槽（431）的槽底之间留有间隙，且该间隙的长度不小于晶圆（100）位于夹紧间隙（44）内部位的长度；所述夹块（41）上开设有与裂片槽（411）垂直且连通的裂片孔（413），所述裂片孔（413）内滑动连接有裂片柱（47），所述裂片柱（47）上设有两个延长片（471），所述延长片（471）位于加强片（45）背离连接边（412）的一端，两个延长片（471）分别与两个加强片（45）相配合且每个延长片（471）均位于对应加强片（45）的上方，所述加强片（45）朝向延长片（471）的一面包括基面（451）和接触面（452），所述接触面（452）位于基面（451）靠近延长片（471）的一侧，所述加强片（45）位于接触面（452）处的厚度小于加强片（45）位于基面（451）的厚度，所述基面（451）和接触面（452）之间通过倾斜的延长面（453）相连；所述裂片柱（47）的底部与裂片槽（411）的底部之间设有复位弹簧（48）；所述裂片柱（47）上设有两段旋向相反的螺纹槽，两个延长片（471）分别与两个螺纹槽螺纹相连，所述裂片槽（411）内固定有与裂片柱（47）相平行的限位柱（49），所述限位柱（49）贯穿两个延长片（471）且与两个延长片（471）滑动相连，所述衬片（43）包括位于形变槽（431）两侧的高形变层（432）和低形变层（433），所述低形变层（433）位于靠近夹紧间隙（44）的一侧。

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