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恭喜ASML荷兰有限公司任伟明获国家专利权

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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于信号电子检测的系统和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115428170B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180027489.X,技术领域涉及:H10F30/29;该发明授权用于信号电子检测的系统和方法是由任伟明;陈仲玮;王勇新设计研发完成,并于2021-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

用于信号电子检测的系统和方法在说明书摘要公布了:所公开的一些实施例包括电子检测器,电子检测器包括:具有第一部分和第二部分的第一半导体层;第二半导体层;第三半导体层;由第一半导体层、第二半导体层和第三半导体层形成的PIN区;被配置为在第一半导体层和第三半导体层之间施加反向偏置的电源;以及耗尽区,耗尽区通过反向偏置在PIN区内形成,并且耗尽区被配置为基于在耗尽区内捕获的多个信号电子的第一子集来生成检测器信号,其中第一半导体层的第二部分未被耗尽并且被配置为提供能量势垒以阻挡多个信号电子的第二子集,以及被配置为允许多个信号电子的第一子集穿过以到达耗尽区。

本发明授权用于信号电子检测的系统和方法在权利要求书中公布了:1.一种用于检测从样品生成的多个信号电子的电子检测器,包括:具有第一部分和第二部分的第一半导体层;与所述第一半导体层相邻的第二半导体层;与所述第二半导体层相邻的第三半导体层;由所述第一半导体层、所述第二半导体层和所述第三半导体层形成的PIN区;电源,被配置为在所述第一半导体层和所述第三半导体层之间施加反向偏置;以及通过所述反向偏置在所述PIN区内形成的耗尽区,所述耗尽区包括所述第二半导体层的一部分,并且所述耗尽区被配置为基于在所述耗尽区内捕获的所述多个信号电子的第一子集来生成检测器信号,其中所述第一半导体层的所述第二部分未被耗尽,并且所述第二部分被配置为提供能量势垒以阻挡所述多个信号电子的第二子集,以及所述第二部分被配置为允许所述多个信号电子的所述第一子集穿过以到达所述耗尽区。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司,其通讯地址为:荷兰维德霍温;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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