恭喜株式会社荏原制作所;平田机工株式会社江藤洋平获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社荏原制作所;平田机工株式会社申请的专利输送装置和工件处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111799200B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010272604.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权输送装置和工件处理装置是由江藤洋平;国泽淳次;本坊光朗;金泽敬治设计研发完成，并于2020-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本输送装置和工件处理装置在说明书摘要公布了：本发明是输送装置、工件处理装置、输送装置的控制方法、存储程序的记录介质，抑制输送装置内的结露。输送装置具备：主体部；回旋部，该回旋部被设置为相对于所述主体部回旋自如；臂，该臂支承于所述回旋部；以及末端执行器，该末端执行器设置于所述臂的顶端部，并对工件进行保持，所述输送装置还具备：气体供给单元，该气体供给单元向所述末端执行器的臂侧基部和或所述臂的顶端部的臂侧内部空间供给气体；以及排气单元，该排气单元设置在与所述臂侧内部空间连通的主体侧内部空间，并对所述臂侧内部空间和或所述主体侧内部空间的气体进行排气。
本发明授权输送装置和工件处理装置在权利要求书中公布了：1.一种输送装置，其特征在于，具备：主体部；回旋部，该回旋部被设置为相对于所述主体部回旋自如；臂，该臂支承于所述回旋部；以及末端执行器，该末端执行器设置于所述臂的顶端部，并对工件进行保持，所述输送装置还具备：气体供给单元，该气体供给单元向所述末端执行器的臂侧基部和或所述臂的顶端部的臂侧内部空间供给气体；以及排气单元，该排气单元设置在与所述臂侧内部空间连通的主体侧内部空间，并对所述臂侧内部空间和或所述主体侧内部空间的气体进行排气。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社荏原制作所;平田机工株式会社，其通讯地址为：日本国东京都大田区羽田旭町11番1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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