恭喜北京特思迪半导体设备有限公司郝元龙获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利抛光机偏心摆动机构及抛光机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119858102B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510354340.2,技术领域涉及:B24B29/00;该发明授权抛光机偏心摆动机构及抛光机是由郝元龙;寇明虎;张明慧设计研发完成,并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本抛光机偏心摆动机构及抛光机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种抛光机偏心摆动机构及抛光机,包括:固定平台,固定平台上设置有支撑结构;移动平台,移动平台设于支撑结构上;偏心距调整结构,偏心距调整结构包括移动部和驱动部,移动部与移动平台连接,驱动部能够带动移动部和移动平台平移;驱动组件,驱动组件设于固定平台上,驱动组件与偏心距调整结构对应;驱动组件包括主驱动构件、第一驱动构件、第二驱动构件和离合构件,第一驱动构件与移动平台连接,第二驱动构件用于在主驱动构件的作用下带动驱动部动作;离合构件用于调整主驱动构件的动力传递路径。本发明实现了能够对移动平台偏心距自动调整,使调整过程简单便捷,且能够具备更高的调整精度的技术效果。
本发明授权抛光机偏心摆动机构及抛光机在权利要求书中公布了:1.一种抛光机偏心摆动机构,其特征在于,包括: 固定平台,固定平台上设置有支撑结构; 移动平台,移动平台设于支撑结构上,移动平台可通过支撑结构相对于固定平台偏心摆动和平移; 偏心距调整结构,偏心距调整结构设置为两组并分别位于移动平台的两侧,偏心距调整结构包括移动部和驱动部,移动部与移动平台连接,驱动部设置成能够受驱动地带动移动部平移; 驱动组件,驱动组件设于固定平台上,驱动组件设置为两组并分别与两组偏心距调整结构对应; 驱动组件包括主驱动构件、第一驱动构件、第二驱动构件和离合构件,第一驱动构件通过移动部与移动平台连接,用于在主驱动构件的作用下带动移动平台偏心摆动,第二驱动构件用于在主驱动构件的作用下带动驱动部动作; 离合构件具有第一联动状态和第二联动状态,在第一联动状态下,主驱动构件与第一驱动构件联动,主驱动构件与第二驱动构件分离;在第二联动状态下,主驱动构件与第二驱动构件联动,主驱动构件与第一驱动构件分离; 第一驱动构件包括固定腔体; 主驱动构件的一部分位于固定腔体内,驱动部设于固定腔体内,移动部的上端延伸出固定腔体并与移动平台连接,固定腔体在主驱动构件的作用下通过移动部带动移动平台偏心摆动; 离合构件的离合端以及第二驱动构件设于固定腔体内; 主驱动构件包括驱动外轴和驱动内轴,驱动外轴可转动地安装在固定平台上,驱动外轴设置成能够受驱动地定轴旋转; 驱动内轴设于驱动外轴内,驱动内轴与驱动外轴通过传动件连接,以使驱动外轴能够带动驱动内轴旋转,同时驱动内轴可沿驱动内轴的轴向直线移动; 驱动内轴的上端延伸入固定腔体内并与第二驱动构件传动连接; 离合构件包括伸缩驱动结构,离合构件的离合端包括第一插接结构和第二插接结构,第一插接结构设于固定腔体内,第二插接结构设于驱动内轴的上端,第一插接结构与第二插接结构能够以插拔的方式连接和脱离; 伸缩驱动结构用于驱动驱动内轴沿轴向直线移动,以使第一插接结构与第二插接结构连接和脱落。
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