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龙图腾网获悉江苏赫为智能科技有限公司申请的专利一种用于晶圆表面缺陷的检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222979478U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421244149.X，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种用于晶圆表面缺陷的检测装置是由王磊;王加柱设计研发完成，并于2024-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆表面缺陷的检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆表面缺陷的检测装置，包括工作仓，工作仓内安装有电动旋转盘，电动旋转盘上设置有多个定位座，多个定位座内设置有放置盘，放置盘内设有晶圆件，放置盘底部设置有支撑机构，定位座一端设置有限位组件，电动旋转盘中央设置有安装台，安装台上设置有多个激光线扫检测仪，电动旋转盘上方设置有移动机构，移动机构上设置有移动架，移动架上设置有检测组件，通过检测组件对晶圆件进行检测，工作仓内还设置有吸尘机构，通过吸尘机构将空气中以及晶圆件上的粉尘进行吸附，其优点在于可以进行批量晶圆件的定位检测，灵活检测，对晶圆件进行全方位的检测记录，且对晶圆件表面进行吸尘处理，避免影响检测精度。

本实用新型一种用于晶圆表面缺陷的检测装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆表面缺陷的检测装置，其特征在于：包括工作仓1，所述工作仓1两侧以及后侧均设置有观察口101，用于观察作业进程，所述工作仓1内安装有电动旋转盘10，所述电动旋转盘10上设置有多个定位座12，所述多个定位座12呈圆周分布，所述多个定位座12内设置有U型卡槽，U型卡槽内安装有放置盘13，所述放置盘13内设有晶圆件131，所述放置盘13底部设置有支撑机构，所述定位座12一端设置有限位组件，所述电动旋转盘10中央设置有安装台14，所述安装台14上设置有多个激光线扫检测仪141，所述多个激光线扫检测仪141分别对应定位座12，所述定位座12上设置有检测口，激光线扫检测仪141通过检测口对晶圆件131表面进行瑕疵检测，所述电动旋转盘10上方设置有移动机构，所述移动机构上设置有移动架5，所述移动架5上设置有检测组件，通过检测组件对电动旋转盘10上的晶圆件131进行全方位的检测，所述工作仓内还设置有吸尘机构，所述吸尘机构位于电动旋转盘10一侧，通过吸尘机构将空气中以及晶圆件131上的粉尘进行吸附。

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