恭喜江苏迪盛智能科技有限公司陈国军获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏迪盛智能科技有限公司申请的专利工作平台及光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113467196B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110872219.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权工作平台及光刻设备是由陈国军;吴景舟;马迪设计研发完成，并于2021-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本工作平台及光刻设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种工作平台，用于光刻设备以支撑工件，光刻设备包括机架和光学装置，机架可相对工作平台运动，工作平台包括平台及与平台连接的泵体，平台包括具有工作面的平台本体及设置在平台本体上的支撑组件，支撑组件可相对平台本体沿平台本体高度方向移动，并至少部分突伸出工作面，从而支撑工件，或支撑组件的上端面平行或低于工作面，从而使得工件位于工作面上。通过在平台上设置支撑组件，在使用托举件将工件移动至平台的工作面上或从工作面移走时，支撑组件支撑工件，使得工件和工作面之间具有间隙，可轻松将托举件脱离工件或插入到工件底部以支撑工件，操作简单、省力，且可轻松实现大体积或较重工件的上下料，提高了工作平台的实用性。
本发明授权工作平台及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种工作平台，用于光刻设备以支撑工件，光刻设备还包括机架和安装在所述机架上的光学装置，所述机架可相对所述工作平台运动，其特征在于，所述工作平台包括平台及与所述平台连接的泵体，所述平台包括具有工作面的平台本体及设置在所述平台本体上的支撑组件，所述支撑组件可相对所述平台本体沿所述平台本体高度方向移动，并至少部分突伸出所述工作面，从而支撑工件，或所述支撑组件的上端面平行或低于所述工作面，从而使得工件位于所述工作面上，所述工件在通过支撑于其底部的托举件移动至所述工作面上方，所述支撑组件用于在所述托举件将所述工件移动至所述工作面上方时升起至顶起所述工件，以便所述工件从所述托举件处脱离。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏迪盛智能科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号锐晶大厦2号楼2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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