恭喜EV 集团 E·索尔纳有限责任公司D·辛纳获国家专利权
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龙图腾网恭喜EV 集团 E·索尔纳有限责任公司申请的专利用于对准基板的装置和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115398133B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080100222.4,技术领域涉及:F16K11/076;该发明授权用于对准基板的装置和方法是由D·辛纳;F·P·林德纳;T·普拉奇;P·斯塔岑格鲁伯设计研发完成,并于2020-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于对准基板的装置和方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于对准基板的装置和方法。
本发明授权用于对准基板的装置和方法在权利要求书中公布了:1.一种用于对准基板的装置,具有: -用于将第一基板3、3o容纳在第一基板保持件表面1s、1s'、1so上的第一基板保持件1、1'、1o, -用于将第二基板3u容纳在第二基板保持件表面1su上的第二基板保持件1u, -其中所述第一基板保持件表面1s、1s'、1so面向所述第二基板保持件表面1su, -其中所述第一基板保持件1、1'、1o具有至少三个内部距离传感器2i,用于测量所述内部距离传感器距所述第一基板3、3o的基板表面3so的第一距离,并且 -所述第一基板保持件1、1'、1o具有至少三个外部距离传感器2a,用于测量所述外部距离传感器到所述第二基板保持件1u的第二基板保持件表面1su的第二距离。
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