恭喜株式会社斯库林集团河原启之获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置及其搬送控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113557591B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080020635.1，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权基板处理装置及其搬送控制方法是由河原启之;桥本光治;菊本宪幸;墨周武设计研发完成，并于2020-02-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及其搬送控制方法在说明书摘要公布了：用液膜覆盖基板表面的状态下搬送基板的基板处理装置1，为了防止因搬送中的振动或液体的挥发等而导致的基板表面的露出，而具备：第1处理部11A，其向基板S供给液体并用液膜覆盖基板的表面；搬送机构15，其搬送担载液膜的基板；第2处理部13A，其接受通过搬送机构搬送的基板并执行预定的处理；拍摄部157，其拍摄形成于基板表面的液膜；以及控制部90，其基于通过拍摄部分别在从形成液膜起至通过搬送机构将基板搬入第2处理部的期间的互不相同的时刻拍摄的多个图像的差，来控制搬送机构的动作。
本发明授权基板处理装置及其搬送控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 第1处理部，其向基板供给液体并用液膜覆盖上述基板的表面； 搬送机构，其搬送担载上述液膜的上述基板； 第2处理部，其接受通过上述搬送机构搬送的上述基板并执行预定的处理； 拍摄部，其拍摄形成于上述基板的表面的上述液膜；以及 控制部，其基于上述拍摄部分别在从形成上述液膜起至通过上述搬送机构将上述基板搬入上述第2处理部为止的期间的互不相同的时刻拍摄的多个图像的差分，来控制上述搬送机构的动作， 上述差分是两个图像间的每一像素的差的绝对值的累计值， 在上述差分超出预先设定的基准量的情况和未超出预先设定的基准量的情况下，上述控制部使从上述第1处理部搬送至上述第2处理部为止所花费的时间不同。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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