恭喜无锡亘芯悦科技有限公司王玮获国家专利权
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龙图腾网恭喜无锡亘芯悦科技有限公司申请的专利一种晶圆传输设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023248U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422212922.0，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆传输设备是由王玮设计研发完成，并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传输设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆传输设备，包括真空腔以及与其密封连接的直线执行机构，所述真空腔内设置有轴承座以及与其转动连接的第一连接杆，所述直线执行机构包括驱动机构、与所述驱动机构连接的顶升轴、以及安装于所述顶升轴端部的滚轮，所述第一连接杆安装有耐磨块，所述驱动机构用于驱动所述顶升轴做直线运动，所述顶升轴端部的滚轮与所述耐磨块接触，将所述顶升轴的直线运动转化成所述第一连接杆的旋转运动。该晶圆传输设备设备有效解决了气体密封性差，动作效率低下、速度不易控制且定位精度低，直线运动转化为旋转运动时不够顺畅，结构件磨损严重、易产生微小颗粒污染晶圆表面等问题，最终实现了在高真空环境下晶圆的精准、高效、稳定传输。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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