买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜中国科学院上海高等研究院申请的专利光瞳检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119861040B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510353144.3，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权光瞳检测装置是由梁莎莎;赵波;张祥志;刘海岗;孟祥雨;王勇;邰仁忠设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本光瞳检测装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种光瞳检测装置，包括外壳，外壳限定一内腔，外壳上开设有第一通孔，内腔外设有遮盖窗、第一支架、透镜组、第二支架和闪烁晶体，第一支架固定在外壳上，透镜组固定在第一支架上，第二支架固定在透镜组上，第二支架上设有第二通孔，闪烁晶体固定在第二支架上并覆盖第二通孔；遮盖窗与外壳和或第一支架固定并遮盖第一通孔，内腔中设有相机，相机与外壳固定连接；闪烁晶体、第二通孔、透镜组、遮盖窗、第一通孔和相机沿光传输方向依次设置，闪烁晶体用于将EUV光转化为荧光，透镜组用于对闪烁晶体上的荧光进行放大成像，相机用于拍摄闪烁晶体上的荧光的图像。本发明的光瞳检测装置，可在真空环境中正常工作，并对EUV光进行检测。

本发明授权光瞳检测装置在权利要求书中公布了：1.一种EUV掩模缺陷检测系统，其特征在于，包括光瞳检测装置，所述光瞳检测装置包括外壳，所述外壳限定一内腔，所述外壳上开设有第一通孔，所述内腔外设有遮盖窗、第一支架、透镜组、第二支架和闪烁晶体，所述第一支架固定在所述外壳上，所述透镜组固定在所述第一支架上，所述第二支架固定在所述透镜组上，所述第二支架上设有第二通孔，所述闪烁晶体固定在所述第二支架上并覆盖所述第二通孔；所述遮盖窗与所述外壳和或所述第一支架固定并遮盖所述第一通孔，所述内腔中设有相机，所述相机与所述外壳固定连接；所述闪烁晶体、所述第二通孔、所述透镜组、所述遮盖窗、所述第一通孔和所述相机沿光传输方向依次设置，所述闪烁晶体用于将EUV光转化为荧光，所述透镜组用于对所述闪烁晶体上的荧光进行放大成像，所述相机用于拍摄所述闪烁晶体上的荧光的图像； 所述透镜组分别与所述第一支架和所述第二支架可拆卸连接，以通过调节所述透镜组和所述第一支架之间的相对位置来调节所述透镜组与所述相机之间的距离，以及通过调节所述透镜组和所述第二支架之间的相对位置来调节所述透镜组与所述闪烁晶体之间的距离； 所述EUV掩模缺陷检测系统还包括振镜、反射镜、椭球反射镜、三维运动控制台和真空腔体，所述振镜、所述反射镜、所述椭球反射镜和所述三维运动控制台均位于所述真空腔体内，所述振镜用于使EUV光以不同角度出射，所述反射镜用于将从振镜出射的EUV光反射至所述椭球反射镜上，所述椭球反射镜用于将EUV光聚焦到所述椭球反射镜的其中一个焦点上，将该焦点所在的水平面作为掩模面；所述光瞳检测装置设于所述三维运动控制台上，并位于所述掩模面的正下方；所述三维运动控制台使所述光瞳检测装置相对于所述掩模面运动，以使所述相机采集掩模面光瞳图像和离焦面光瞳图像；所述相机与位于所述真空腔体外的振镜控制器相连，所述振镜控制器用于向所述相机输入外触发采集信号，以实现光瞳检测和振镜扫描的同步采集；根据所述掩模面光瞳图像和所述离焦面光瞳图像确定所述掩模面处光束的入射角。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院上海高等研究院，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区海科路99号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。