北京北方华创微电子装备有限公司邹传巍获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利外延反应腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111172586B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010006150.9，技术领域涉及：C30B25/08；该发明授权外延反应腔室是由邹传巍设计研发完成，并于2020-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本外延反应腔室在说明书摘要公布了：本发明提供一种外延反应腔室，包括上穹顶、下穹顶、遮挡件以及设置于上穹顶与下穹顶之间的腔室侧壁，腔室侧壁上设置有用于工艺气体通入的第一进气口以及用于工艺气体排出的第一出气口，遮挡件与上穹顶相对设置，且位于第一出气口的上方，用于阻挡工艺气体与上穹顶接触。本发明提供的外延反应腔室能够提高工艺质量，延长反应腔室的维护周期及使用寿命，并提高产能。
本发明授权外延反应腔室在权利要求书中公布了：1.一种外延反应腔室，包括上穹顶、下穹顶以及设置于所述上穹顶与所述下穹顶之间的腔室侧壁，所述上穹顶、所述腔室侧壁和所述下穹顶依次密封连接形成所述外延反应腔室，所述腔室侧壁上设置有用于工艺气体通入的第一进气口以及用于所述工艺气体排出的第一出气口，在所述上穹顶的外部设置有加热灯组，其特征在于，还包括与所述上穹顶相对设置的遮挡件，所述遮挡件设置在所述上穹顶的下方，且位于所述第一出气口的上方，所述腔室侧壁中设置有环形凹槽，所述遮挡件设置在所述环形凹槽中，且所述腔室侧壁、所述上穹顶以及所述遮挡件形成阻隔腔，用于阻挡工艺气体与所述上穹顶接触；所述上穹顶和所述遮挡件均采用透明石英材质制备；所述加热灯组发出的光能够透过所述上穹顶和所述遮挡件进入外延反应腔室内部，以借助所述加热灯组使工艺过程中所述外延反应腔室内部的工艺气体达到工艺温度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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