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申请/专利权人：欧瑞康太阳能(处贝区市)公司
申请日：2009-06-15
公开（公告）日：2011-07-13
公开（公告）号：CN102124140A
专利技术分类：.以镀覆方法为特征的（C23C16/04优先）[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种热阱装置1，其包括具有至少一个进气口3、至少一个出气口5的壳体2、至少一个加热装置7及至少一个收集装置10，用以将反应副产物转化成产物。其中，收集装置设置于壳体内，位于进气口与出气口之间，其直径实质符合壳体的直径，且其具有至少一个开孔18。
专利权项：一种气相沉积热阱装置1，其包括：壳体2，包括至少一个进气口3及至少一个出气口5；至少一个加热装置7；以及至少一个收集装置10，用以将反应副产物转化成沉积在所述收集装置及或所述壳体的内表面上的产物；其中，所述收集装置设置于所述壳体内，位于所述进气口与所述出气口之间，以及其中，所述收集装置的直径实质符合所述壳体的直径，且具有至少一个开孔18。
百度查询： 欧瑞康太阳能(处贝区市)公司 阱
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皖公网安备 34010402703815号