申请/专利权人：中国科学技术大学

申请日：2019-12-10

公开（公告）日：2020-04-10

公开（公告）号：CN110987887A

主分类号：G01N21/64(20060101)

分类号：G01N21/64(20060101);G01N21/17(20060101);G01N21/01(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.08.13#授权;2020.05.05#实质审查的生效;2020.04.10#公开

摘要：本发明公开了一种微型高温ODMR测量样品腔，用于测量常温至1000℃之间样品的光学稳定性、ODMR以及自旋操控。包括：真空腔体、集成式加热样品台、“卡扣”式ODMR测量样品台、螺旋磁感应线圈、同轴电缆、微波发生器、PID温度控制器、直流电源。真空腔体主体为一个四通道管，使用CF法兰密封，使腔内气压易低于10‑5Pa的高真空水平；同时其中一个CF法兰包含石英视窗，用于光学测量。集成化的加热样品台集成了加热模块和热电偶，可稳定加热至1000℃以上；“卡扣”式结构的ODMR测量样品台主体由一块石英扣板中间固定一个中心凸起的圆形金属片构成，通过一个环形金属扣合器固定在加热台上，不仅可以十分容易从加热样品台上安装拆卸，也方便了ODMR微波测量线的加工。

主权项：1.一种微型高温ODMR测量样品腔，其特征在于：包括“卡扣”式ODMR测量样品台1、集成式加热样品台2、包含石英视窗的CF法兰3、绝缘陶瓷13、第一同轴电缆14、第二同轴电缆15、八通道真空密封电极法兰16、四通管道17、两通道真空密封电极法兰18和CF转KF法兰19；其中，所述真空腔体由四通管道17构成，使用四个CF法兰密封，保证真空度和温度耐受度；所述真空腔体左侧设置有两通道真空密封电极法兰18，通过穿透两通道真空密封电极法兰18的密封铜导线将第一同轴电缆14、第二同轴电缆15引入真空腔体内，为样品施加微波信号；所述真空腔体右侧设置有CF转KF法兰19，用于直接连接真空泵的波纹管；所述真空腔体上侧设置有包含石英视窗的CF法兰3，集成式加热样品台2，螺旋磁感应线圈和“卡扣”式ODMR测量样品台1，包含石英视窗的CF法兰3在密封真空腔体的同时提供了光学测量功能；集成式加热样品台2用于加热样品且具备温度监测功能；螺旋磁感应线圈以不接触方式环绕于集成式加热样品台2周围，用于产生磁场；“卡扣”式ODMR测量样品台1用于承载样品和传输微波，传输微波的第一同轴电缆线14、第二同轴电缆15与该“卡扣”式ODMR测量样品台1上的SMA接头102连接；“卡扣”式ODMR测量样品台1整体通过环形金属扣合器103扣合在集成式加热样品台2上；所述真空腔体下侧设置有八通道真空密封电极法兰16，集成式加热样品台2的加热电极电源线、热电偶信号线和螺旋磁感应线圈电源线均由八通道真空密封电极法兰16上的六根铜柱导出到真空腔室外，并在腔室外分别与直流电源和PID温度控制器相连；同时还有八通道真空密封电极法兰16上的另外两根铜柱用于支撑集成式加热样品台2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学技术大学 一种微型高温ODMR测量样品腔

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