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蒸镀样品台及蒸镀装置 

申请/专利权人:北京工业大学

申请日:2023-09-25

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN221235645U

主分类号:C23C14/24

分类号:C23C14/24;C23C14/50

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.28#授权

摘要:本实用新型涉及蒸镀装置技术领域,公开一种蒸镀样品台及蒸镀装置,所公开的蒸镀样品台包括驱动机构和固定台,驱动机构与固定台可转动相连,驱动机构用于驱动固定台倾转,以使固定台在初始状态和倾转状态之间切换,在倾转状态下,固定台所在的平面与初始状态下固定台所在的平面相交,固定台用于连接待蒸镀的样品。本实用新型能够解决相关技术中的蒸镀装置较难填充高深宽比的槽的问题。

主权项:1.一种蒸镀样品台,其特征在于,包括驱动机构100和固定台200,其中:所述驱动机构100与所述固定台200可转动相连,所述驱动机构100用于驱动所述固定台200倾转,以使所述固定台200在初始状态和倾转状态之间切换,在所述倾转状态下,所述固定台200所在的平面与所述初始状态下所述固定台200所在的平面相交,所述固定台200用于连接待蒸镀的样品600。

全文数据:

权利要求:

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