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申请/专利权人：浙江柔震科技有限公司
申请日：2023-11-30
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221235648U
主分类号：C23C14/26
分类号：C23C14/26
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀坩埚组件，包括：坩埚主体，并设置第一加热组件，用于给坩埚主体进行加热；还包括，储液容器，其内提供熔融的蒸镀液，作为蒸镀靶材的补充源；以及，用于连通储液容器与坩埚主体的连通管路，连通管路中设置缓冲区，缓冲区中设置加热组件，用于进一步提升储液容器中的蒸镀液温度。本实用新型的坩埚组件设置有连通管路结构来连接坩埚及储液容器，用于连续送料，且连通管路中设置预热的缓冲区，以减少熔融液温差对坩埚温度的影响。
主权项：1.一种蒸镀坩埚组件，其特征在于，包括：坩埚主体，并设置第一加热组件，用于给坩埚主体进行加热；还包括，储液容器，其内提供熔融的蒸镀液，作为蒸镀靶材的补充源；以及，用于连通储液容器与坩埚主体的连通管路，连通管路中设置缓冲区，缓冲区中设置加热组件，用于进一步提升储液容器中的蒸镀液温度；连通管路的输出端与坩埚主体的低温区连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江柔震科技有限公司 蒸镀坩埚组件
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