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申请/专利权人：吉林华微电子股份有限公司

摘要：本发明公开了一种翻版机，由上真空部与下真空部组成，上真空部与下真空部铰接相连，其中上真空部结构包括上板、上板框、提手、真空接头一，上板为一个中部开有方孔一的圆形平板，上板框为一个中部开有圆孔一的圆形框体，其一侧设有一个与圆孔一同轴的圆形凹槽二，上板嵌入圆形凹槽二内并与其固定连接，提手呈一定的倾斜角度固定连接于上板框的顶部，上板框的顶面设有两个贯通的螺纹孔一，每个螺纹孔一均螺纹连接有一个真空接头一，下真空部结构包括底板、底板密封盖、下板框、下板框压板、真空接头二、密封垫，底板的顶面一边与上板框通过合页铰接，进而实现上真空部与下真空部的铰接相连，本发明能够达到光刻板线宽精度，满足工艺和生产要求。

主权项：1.一种翻版机，其特征在于，由上真空部与下真空部组成，所述上真空部与下真空部铰接相连，所述上真空部结构包括上板、上板框、提手、真空接头一，所述上板为一个中部开有方孔一的圆形平板，所述方孔一的周圈设有一圈凹槽一，所述凹槽一上设有两个通孔，所述上板框为一个中部开有圆孔一的圆形框体，其一侧设有一个与圆孔一同轴的圆形凹槽二，所述上板嵌入圆形凹槽二内并与其固定连接，所述提手呈一定的倾斜角度固定连接于上板框的顶部，所述上板框的顶面设有两个贯通的螺纹孔一，所述螺纹孔一与凹槽一上的通孔一一对应并导通，所述每个螺纹孔一均螺纹连接有一个真空接头一，所述下真空部结构包括底板、底板密封盖、下板框、下板框压板、真空接头二、密封垫，所述底板的顶面一边与上板框通过合页铰接，进而实现上真空部与下真空部的铰接相连，所述底板的中心设有一个圆形凹槽三，所述圆形凹槽三的底部设有一个圆孔二，所述底板密封盖外形为圆形，且扣合在底板的底面并与底板固定连接，所述下板框压板由上部的方形框和下部的圆形框组成，所述下板框套接于下板框压板的方形框的外周，并与圆形框固定连接，进而实现下板框压板与下板框的固定连接，且下板框压板的上表面与下板框之间夹持有一个密封垫，所述下板框固定连接于圆形凹槽三内，且下板框压板的圆形框陷入于圆孔二内，所述底板的两个侧面各设有一个与圆形凹槽三导通的螺纹孔二，每个所述螺纹孔二各固定连接有一个真空接头二。

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