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申请/专利权人：德州仪器公司
摘要：在所描述的实例中，一种微机电系统MEMS包含第一元件204和第二元件201。所述第一元件204安装在衬底208上并具有第一接触表面。所述第二元件201安装在所述衬底208上并具有第二接触表面826，所述第二接触表面从所述第二元件201突起以形成锐角接触表面。所述第一元件204和或所述第二元件201能操作828以：在第一方向上移动，使得所述第一接触表面与所述第二接触表面826接触；在第二方向上移动，使得所述第二接触表面826与所述第一接触表面分离。
主权项：1.一种微机电系统MEMS，其包括：衬底；第一元件，所述第一元件安装在所述衬底上并具有第一楔形突起，所述第一楔形突起具有第一边缘；以及第二元件，所述第二元件安装在所述衬底上并具有第二楔形突起，其中所述第二楔形突起具有第二边缘，并且其中所述第二边缘以垂直关系定向于所述第一边缘或以小于90度的角度横向地定向于所述第一边缘；所述第一元件经配置以：在第一方向上移动以使所述第一边缘接触所述第二边缘；以及在第二方向上移动以使所述第一边缘从所述第二边缘分离，其中当所述第一元件经配置以在所述第一方向上移动时所述第一边缘朝向所述第二边缘移动，并且其中所述第二方向与所述第一方向相反。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 德州仪器公司 微机电系统中分离的突起/凹进特征
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