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用于减少YX切割压电耦合的横向激发的薄膜体声谐振器 

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申请/专利权人:株式会社村田制作所

摘要:一种滤波器可以包括衬底和耦接到衬底的旋转YX切割的压电板。该滤波器还可以包括叉指换能器IDT,该IDT形成在旋转YX切割的压电板的形成膜片的部分上,该膜片跨越旋转YX切割的压电板和衬底之间的腔。IDT包括设置在膜片上的交错的指状物。IDT具有小于或等于交错的指状物的间距的4倍的孔径。

主权项:1.一种声谐振器件,包括:衬底;旋转YX切割的压电板,耦接到所述衬底,并包括跨越腔的膜片;以及叉指换能器IDT,包括所述旋转YX切割的压电板的所述膜片处的交错的指状物,其中,所述IDT具有小于或等于所述交错的指状物的间距的4倍的孔径。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社村田制作所 用于减少YX切割压电耦合的横向激发的薄膜体声谐振器

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