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申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司
摘要：本申请实施例公开了一种光刻机载物台及OVL异常检测方法，属于电子设备领域。通过OVL异常检测方法的侦测组件可以在腔室进入晶圆以及传送过程中对晶圆进行位置侦测，从而在晶圆位置异常时发出警报；从而在气闸室对制造过程中的晶圆进行监控，避免位置异常的晶圆在后续传送模组继续动作时造成对其他晶圆损伤或机台损害。
主权项：1.一种光刻机载物台，其特征在于，所述光刻机载物台包括：吸附台、升降Pin、真空吸附边框和底座；所述吸附台位于所述真空吸附边框内，所述吸附台与所述真空吸附边框之间形成有真空吸附腔，所述吸附台中贯穿有所述升降Pin；所述升降Pin设置有晶圆夹，所述升降Pin用于表面承载晶圆并通过所述晶圆夹对所述晶圆进行固定；所述吸附台设置有夹具，所述夹具用于固定所述升降Pin。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 光刻机载物台及OVL异常检测方法
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