龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京大学
摘要：本发明公开了一种HVPE外延氮化铝厚膜的生长方法，属于半导体技术领域。该方法采用特定结构的石英舟盛放金属铝，进入石英舟的反应气体可以与金属铝源充分接触，将氯化氢与金属铝的反应比例提高到80％以上。设计多路分隔的喷嘴结构，将金属源和氨气物理上分隔开来，降低其预反应的可能性，配合交替间断的生长方法，短时间内交替通入III族源和V族气体，使其即不会互相提前接触，又可以互相均匀到达高温区衬底表面，并在衬底表面均匀混合，提高生长均匀性和生长速率。同时减少预反应颗粒等产物，避免其落到衬底表面形成缺陷，提高表面质量。本发明可以有效提高金属铝源的利用率，降低预反应，且可以得到高晶体质量的氮化铝厚膜。
主权项：1.一种外延氮化铝厚膜的生长方法，其特征在于，包括如下步骤：1选用高纯金属铝，将金属铝装入石英舟中，所述石英舟包括石英舟体和石英舟盖，在石英舟体上设有进气管用于通入气体，石英舟盖上有若干孔，该孔用于排气；2在HVPE反应室中设计多路分隔喷嘴结构，该多路分隔喷嘴结构包括互不连通的A路石英管、B路石英管和C路石英管，所述多路分隔喷嘴结构从进气法兰口一直通到高温区样品台；3将步骤1装有金属铝的石英舟放入步骤2的A路石英管中，抽真空，然后通入氮气，预加热金属铝到400-600℃，B路石英管和C路石英管中分别通入氢气和氮气作为载气；4A路石英管中先通1-2分钟的混合气，该混合气包括氯化氢作为反应气体，氢气和氮气作为载气；5多路分隔喷嘴结构交替间断式通入混合气和氨气，具体步骤包括：5-1A路石英管中先通入混合气20-60秒，B路和C路石英管改为氮气；5-2A路石英管暂停混合气中氯化氢的通入，B路石英管中通入氨气20-60秒，C路石英管通载气；5-3B路石英管暂停氨气通入，A、B和C路石英管都通载气0-60秒；5-4重复步骤5-1—步骤5-3，形成循环，外延生长氮化铝厚膜；6生长结束后降温，取出生长有氮化铝厚膜的晶片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京大学 一种HVPE外延氮化铝厚膜的生长方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号