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申请/专利权人：深圳迈塔兰斯科技有限公司
申请日：2023-08-04
公开（公告）日：2024-02-23
公开（公告）号：CN220525288U
主分类号：G01M11/02
分类号：G01M11/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.02.23#授权
摘要：本实用新型提供了一种用于检测晶圆级光学元件的MTF检测装置，包括：沿着光路方向依次设置的发光标靶、移动盘、可调支架和探测装置；所述发光标靶用于发出光信号且被构造为在所述光路方向可移动的；所述移动盘设置有供待测样品放置的放置区，且所述移动盘被构造为可移动的，使得所述放置区的不同位置均可通过移动定位在所述发光标靶的中心线延长线上。本申请通过可调支架上自带的外置处理组件解决了现有的MTF检测装置无法对晶圆级超透镜进行检测的问题，同时，上述MTF检测装置能够通过移动移动盘对晶圆上的每一个超透镜进行检测，检测完毕后再进行切割和组装，提高了包含超透镜的模组的良率。
主权项：1.一种用于检测晶圆级光学元件的MTF检测装置，其特征在于，包括：沿着光路方向依次设置的发光标靶、移动盘、可调支架和探测装置；所述发光标靶用于发出光信号，且所述发光标靶被构造为在所述光路方向可移动的；所述移动盘设置有供待测样品放置的放置区，且所述移动盘被构造为可移动的，使得所述放置区的不同位置均可通过移动移动盘定位在所述发光标靶的中心线延长线上；所述可调支架与所述发光标靶之间的间距为可调设置，所述可调支架靠近所述发光标靶一侧设置外置处理组件；所述探测装置安装在所述可调支架的上方且被构造为接收从所述发光标靶射出且穿过所述待测样品和所述外置处理组件后的光线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳迈塔兰斯科技有限公司 一种用于检测晶圆级光学元件的MTF检测装置
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