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申请/专利权人：北京大学东莞光电研究院
摘要：本发明公开了一种基于毛细作用的自循环装置，包括毛细管以及装有熔体的反应釜；毛细管包括依次连接的进口端部、中段部以及出口端部，其中，进口端部浸入于熔体的液面下方，出口端部位于熔体的液面上方，毛细管的内部沿进口端部至出口端部的方向依次填充有毛细填料以及引流填料。在上述结构中，熔体在毛细管的毛细作用下沿填料的微孔道反重力上升，直至流动到引流填料，在引流填料的作用下回流至反应釜内。这样有效加快熔体的循环流动速度，增加熔体的对流，进而加快熔体中的氮离子传质，起到调节氮化镓单晶生长质量的作用。
主权项：1.一种基于毛细作用的自循环装置，其特征在于，包括毛细管以及装有熔体的反应釜；所述毛细管包括依次连接的进口端部、中段部以及出口端部，其中，所述进口端部浸入于所述熔体的液面下方，所述出口端部位于所述熔体的液面上方，所述毛细管的内部沿所述进口端部至所述出口端部的方向依次填充有毛细填料以及引流填料，所述毛细填料与所述引流填料的连接界面靠近于所述出口端部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京大学东莞光电研究院 一种基于毛细作用的自循环装置
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