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申请/专利权人：大连创锐光谱科技有限公司
摘要：本申请公开了一种半导体晶圆少子寿命成像系统与方法。系统包括：控制模块，用于生成第一电脉冲信号和第二电脉冲信号；光源模块，根据第一电脉冲信号和第二电脉冲信号产生探测光束和激发光束；承载模块，用于固定晶圆；扩束模组，使探测光束和激发光束能够通过扩束模组入射至固定在承载模块的晶圆上，使晶圆上的少子在激发光束的激发下从基态转换到激发态，探测光束探测处于激发态的少子；成像模块，用于获取探测光束探测到的处于激发态的少子，生成晶圆的瞬态吸收图像；控制模块还用于根据瞬态吸收图像，生成晶圆少子寿命图像。本申请实施例，能够提高少子寿命成像的成像效率。
主权项：1.一种半导体晶圆少子寿命成像系统，其特征在于，包括：控制模块，用于生成第一电脉冲信号和第二电脉冲信号，所述第一电脉冲信号的使能电平的起始时刻与所述第二电脉冲信号的使能电平的起始时刻存在预设时间间隔；光源模块，和控制模块电连接，以使所述光源模块能够根据所述第一电脉冲信号和第二电脉冲信号产生探测光束和激发光束；承载模块，用于固定晶圆；扩束模组，设置在所述光源模块和所述承载模块之间，以使所述探测光束和所述激发光束能够通过所述扩束模组入射至固定在所述承载模块的晶圆上，以使所述晶圆上的少子在所述激发光束的激发下从基态转换到激发态，所述探测光束探测处于激发态的少子；成像模块，和所述控制模块电连接，所述成像模块用于获取所述探测光束探测到的处于激发态的少子，生成晶圆的瞬态吸收图像；所述控制模块还用于根据所述瞬态吸收图像，生成第一晶圆少子寿命图像；所述承载模块包括承载板，所述承载板设置有第一通光孔和第二通光孔，所述第一通光孔用于固定晶圆，所述第二通光孔用于固定滤光片；所述成像模块还用于获取所述滤光片的成像数据；所述控制模块还用于根据所述滤光片的成像数据，得到所述滤光片的成像数据中光强度值的平均值，并将所述第一晶圆少子寿命图像的每个像素的光强度值除以所述平均值，得到第二晶圆少子寿命图像。
全文数据：
权利要求：
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