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申请/专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司

摘要：一种大型环抛机校正盘下表面平面度测量装置，该装置包括承载校正盘的转位台和位于转位台内部的测量模组。转位台自下而上是底座、万向球平台、测量狭缝、固定立柱、活动立柱和辅助轮。测量模组自下而上依次是万向轮、平台、水槽、龙门式框架、直线模组、激光位移传感器和触针位移传感器。本发明采用液平面作为参考基准，具有结构简单、测量准确、操作方便的特点，实现对大型环抛机校正盘下表面的平面度测量，以避免“大偏差”校正盘对抛光模的影响，有利于及时修正校正盘面形和保持抛光模面形稳定，提高加工效率。

主权项：1.一种大型环抛机校正盘下表面平面度测量装置，其特征在于，包括转位台1和测量模组2，该测量模组2位于所述的转位台1下方；所述的转位台1由底座11、万向球承载台12、固定立柱13、活动立柱14、辅助轮15和测量狭缝16构成，所述的万向球承载台12固定于底座11上，所述的万向球承载台12的中部还开设有一条测量狭缝16，在所述的万向球承载台12上，以测量狭缝16为镜像对称的两个顶角分别安装有固定立柱13，在该万向球承载台12上的另两个顶角分别安装有可拆卸的活动立柱14，每个固定立柱13和活动立柱14的顶端均安装有一个沿立柱轴转动的辅助轮15；所述的测量模组2包括万向轮组件21、平台22、水槽23、龙门式框架25、直线模组31、连接板32、激光位移传感器33和触针位移传感器34；所述的平台22的底部四角分别安装有带锁止功能的万向轮组件21，所述的平台22的顶面固定有龙门式框架25和水槽23，所述的龙门式框架25包括一根横跨平台台面的横梁和位于平台两侧的立柱，横梁侧面固定安装有已调水平的直线模组31，连接板32固定连接在直线模组31的滑块上，该滑块由伺服电机和丝杠驱动，在所述的连接板32上固定有激光位移传感器33和触针位移传感器34，且所述的激光位移传感器33和触针位移传感器34位于同一水平高度，该激光位移传感器33的正下方为所述的水槽23，该水槽23内装有水24，所述的激光位移传感器33的探针垂直指向水24，触针位移传感器34的探针垂直向上穿过所述的测量狭缝16。

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百度查询： 中国科学院上海光学精密机械研究所 上海恒益光学精密机械有限公司 大型环拋机校正盘下表面平面度测量装置及方法