申请/专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司

申请日：2023-08-30

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117070924B

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2023.12.05#实质审查的生效;2023.11.17#公开

摘要：本发明涉及一种化学气相沉积气流调节装置；涉及化学气相沉积技术领域，包括外壳，该外壳的内部上端为负压仓，负压仓下方为冷却仓，外壳的下端为喷料口；外壳的内侧设有输送管，且输送管与外壳呈同心圆设置；输送管的下端外侧滑动连接有循环水仓，该循环水仓位于外壳的冷却仓中；输送管的下方设有移动块，该移动块呈圆锥状且内部设有水槽，且水槽的两端均套接有循环水管；输送管的下端外侧设置的循环水仓中循环流动有冷却水，循环水仓和移动块均能够对输送管中的高温混合气体进行降温，让输送管中的高温混合气体温度降低，防止混合气体因为过高的温度而在喷料口发生提前反应，从而保证生成的薄膜具有良好的厚度、成分以及光学和电性能。

主权项：1.一种化学气相沉积气流调节装置，其特征在于：包括外壳（7），该外壳（7）的内部上端为负压仓（701），负压仓（701）下方为冷却仓（702），外壳（7）的下端为喷料口（703）；外壳（7）的内侧设有输送管（1），且输送管（1）与外壳（7）成同心圆设置；输送管（1）的下端外侧滑动连接有循环水仓（4），该循环水仓（4）位于外壳（7）的冷却仓（702）中；输送管（1）的下方设有移动块（2），该移动块（2）呈圆锥状且内部设有水槽（21），且水槽（21）的两端均套接有循环水管（6）；循环水仓（4）的内侧对称设有两个过滤嘴（5），两个过滤嘴（5）的底部分别与两个循环水管（6）远离移动块（2）的一端固定连接；所述的输送管（1）的下端内侧滑动连接有滑动环（3），该滑动环（3）与输送管（1）呈同心圆设置；移动块（2）的一端与滑动环（3）的中间焊接；滑动环（3）上设有多个供混合气体通过的通槽；输送管（1）的中端外侧套接有弹簧（8），输送管（1）的上端外侧滑动连接有挡板（9），且挡板（9）与输送管（1）呈同心圆设置；弹簧（8）的顶部与挡板（9）的底部焊接，弹簧（8）的底部与循环水仓（4）的顶部焊接；循环水仓（4）的顶部固定连接有输水管（10），弹簧（8）和输水管（10）均位于外壳（7）的负压仓（701）中；外壳（7）中端一侧设有供输水管（10）通过的密封口，输水管（10）通过外壳（7）的密封口延伸至外壳（7）外侧并与循环水源连接；所述的挡板（9）呈圆环状，且挡板（9）将负压仓（701）分为上下两层；外壳（7）的中端外侧固定连接有第一负压泵（11），该第一负压泵（11）与负压仓（701）的下层连通；第一负压泵（11）的上方设有第二负压泵（12），该第二负压泵（12）与外壳（7）固定连接并与负压仓（701）的上层连通；所述的输送管（1）的上端延伸至外壳（7）的顶部外侧，该外壳（7）的顶部焊接有封盖（19）；外壳（7）的顶部中间设有密封套环（18），该密封套环（18）与输送管（1）呈同心圆设置；输送管（1）的上端与密封套环（18）内侧套接；输送管（1）的上端设有进料口（20），该进料口（20）位于外壳（7）的上方。

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权利要求：

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