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申请/专利权人：中南大学
申请日：2024-01-25
公开（公告）日：2024-05-07
公开（公告）号：CN117990780A
主分类号：G01N27/90
分类号：G01N27/90
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.24#实质审查的生效;2024.05.07#公开
摘要：本发明公开了一种双层螺线型柔性间隙气体传感探头及其研制方法，属于测量技术领域。双层螺线型柔性间隙气体传感探头包括柔性衬底、底层螺线型气体敏感材料薄膜层、绝缘层、中心电极、顶层螺线型气体敏感材料薄膜层；顶层螺线型气体敏感材料薄膜层暴露在大气中，底层螺线型气体敏感材料薄膜层由绝缘层完全覆盖，所述顶层螺线型气体敏感材料薄膜层和底层螺线型气体敏感材料薄膜层中的螺线型结构通过中心电极连接，且螺线旋转方向一致。用本发明提出的方法研制的双层螺线型间隙气体传感探头不但具有间隙和气体双重敏感功能，而且能够增强电涡流效应，适用于多敏感功能电子皮肤研制和现代大型关键设备狭小曲面层间多参数测量等领域。
主权项：1.一种双层螺线型柔性间隙气体传感探头，其特征在于，包括柔性衬底、底层螺线型气体敏感材料薄膜层、绝缘层、中心电极、顶层螺线型气体敏感材料薄膜层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中南大学 一种双层螺线型柔性间隙气体传感探头研制方法
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