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气体传感器和气体传感器的制造方法 

申请/专利权人:日本特殊陶业株式会社

申请日:2023-04-03

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118265908A

主分类号:G01N27/12

分类号:G01N27/12

优先权:["20220427 JP 2022-073681"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:本发明提供一种能够提高响应性的气体传感器。气体传感器10包括:电极部50,具备一个以上的具有第一电极71和第二电极72的电极对70,在电极对70中第一电极71与第二电极72隔着间隙在第一方向上相对;感应膜60,配置在电极对70中的第一电极71与第二电极72之间;及电压施加部80,在第一电极71侧与第二电极72侧之间对电极部50施加电压。感应膜60是致密体。

主权项:1.一种气体传感器,其特征在于,包括:电极部,具备一个以上的具有第一电极和第二电极的电极对,在所述电极对中所述第一电极与所述第二电极隔着间隙在第一方向上相对;感应膜,配置在所述电极对中的所述第一电极与所述第二电极之间;及电压施加部,在所述第一电极侧与所述第二电极侧之间对所述电极部施加电压,所述感应膜是致密体。

全文数据:

权利要求:

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